恭喜芯恩(青岛)集成电路有限公司陈洋洋获国家专利权
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龙图腾网恭喜芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利探针卡及测试机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222850664U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420686114.5，技术领域涉及：G01R1/073；该实用新型探针卡及测试机台是由陈洋洋;褚宜鑫设计研发完成，并于2024-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针卡及测试机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种探针卡及测试机台，探针卡包括承载部、探针部、检测控制部和弹性连接部，承载部上设有凹槽，探针部活动设置于凹槽内，且与承载部电连接，用于将承载部的检测信号传输给晶圆，并将晶圆的反馈信号传输给承载部，检测控制部设置于承载部上和或探针部上，用于调节探针部和承载部之间的位置关系以及检测晶圆相对于所述承载部或晶圆相对于探针部的距离，并在达到预设距离时，改变探针部相对于承载部的位置，弹性连接部设置于探针部和凹槽之间，用于支撑探针部，并对探针部施加背向晶圆方向运动的力，即将发生撞针时，探针部会在弹性连接部的作用下背向晶圆移动，极大地避免了撞针，减少了探针因碰撞发生弯曲或严重磨损的几率。
本实用新型探针卡及测试机台在权利要求书中公布了：1.一种探针卡，其特征在于，包括承载部、探针部、检测控制部和弹性连接部，所述承载部上设有凹槽，所述探针部活动设置于所述凹槽内，且与所述承载部电连接，用于将所述承载部的检测信号传输给晶圆，并将所述晶圆的反馈信号传输给所述承载部，所述检测控制部设置于所述承载部上和或所述探针部上，用于调节所述探针部和所述承载部之间的位置关系以及检测所述晶圆相对于所述承载部或所述晶圆相对于所述探针部的距离，并在达到预设距离时，改变所述探针部相对于所述承载部的位置，所述弹性连接部设置于所述探针部和所述凹槽之间，用于支撑所述探针部，并对所述探针部施加背向所述晶圆方向运动的力。
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