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龙图腾网恭喜香港科技大学(广州)申请的专利离子源、离子注入装置和离子注入方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117995632B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410122956.2，技术领域涉及：H01J37/08；该发明授权离子源、离子注入装置和离子注入方法是由陈子强;廖逸民设计研发完成，并于2024-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本离子源、离子注入装置和离子注入方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种离子源、离子注入装置和离子注入方法。离子源包括壳体、电子枪、电子接收极、含硒固体源、激光器和离子引出极，壳体具有电离室，电子枪和电子接收极设于电离室内，沿第一方向相对且间隔设置。含硒固体源设于电离室内，且具有第一侧壁，激光器朝向含硒固体源的第一侧壁设置，以将含硒固体源加热成含硒气体。离子引出极贯穿设于壳体沿第二方向的一侧侧壁上，且具有与电离室连通的离子出口。电子枪包括阴极，阴极和电子接收极之间具有第一预设电压，以引导阴极发射的电子朝向电子接收极出射，而将含硒气体电离为含硒离子。离子引出极被配置为能够引导含硒离子通过离子出口出射。可减小后续利用该离子源进行离子注入时的启动时间。

本发明授权离子源、离子注入装置和离子注入方法在权利要求书中公布了：1.一种离子源，其特征在于，包括：壳体，具有电离室；电子枪和电子接收极，设于所述电离室内，沿第一方向相对且间隔设置；含硒固体源和激光器，所述含硒固体源设于所述电离室内，且具有第一侧壁，所述激光器朝向所述含硒固体源的所述第一侧壁设置，以将所述含硒固体源加热成含硒气体；以及离子引出极，贯穿设于所述壳体沿第二方向的一侧侧壁上，且具有与所述电离室连通的离子出口；其中，所述第一方向与所述第二方向彼此相交；所述电子枪包括阴极，所述阴极和所述电子接收极之间具有第一预设电压，以引导所述电子枪的阴极发射的电子朝向所述电子接收极出射，而将流经所述电子枪和所述电子接收极之间的含硒气体电离为含硒离子；所述离子引出极被配置为能够引导所述含硒离子通过所述离子出口出射；所述离子源还包括设于所述电离室内的电连接部件；所述电连接部件和所述离子引出极沿与所述第二方向间隔设置；且沿所述第一方向，所述电连接部件和所述离子引出极位于所述电子枪和所述电子接收极之间，沿所述第二方向，所述电子枪和所述电子接收极位于所述电连接部件和所述离子引出极之间；所述电连接部件和所述离子引出极之间具有第二预设电压，以引导所述含硒离子通过所述离子出口出射。

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