恭喜拓荆科技(上海)有限公司杨辰烨获国家专利权
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龙图腾网恭喜拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种加热盘调节机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117637550B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311678049.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种加热盘调节机构是由杨辰烨设计研发完成，并于2023-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热盘调节机构在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工制造技术领域，更具体的说，涉及一种加热盘调节机构。本发明提供的加热盘调节机构，包括凸轮机构、球形铰链、加热盘与加热盘座：所述凸轮机构，与加热盘座紧密接触；所述加热盘，与加热盘座刚性连接；所述加热盘座，底部与球形铰链相连接；其中，所述凸轮机构，围绕加热盘轴线做回转运动，带动所述加热盘沿球形铰链在多个方向上进行相应运动，实现加热盘的对心及调平调整。本发明提出的加热盘调节机构，通过凸轮机构同时实现加热盘对心和调平，不仅将有助于提高产品质量，也将有助于提升整体的生产效率。
本发明授权一种加热盘调节机构在权利要求书中公布了：1.一种加热盘调节机构，其特征在于，包括凸轮机构、球形铰链、加热盘与加热盘座：所述凸轮机构，与加热盘座紧密接触；所述加热盘，与加热盘座刚性连接；所述加热盘座，底部与球形铰链相连接；其中，所述凸轮机构，围绕加热盘轴线做回转运动，带动所述加热盘沿球形铰链在多个方向上进行相应运动，实现加热盘的对心及调平调整；所述加热盘座，底部设置球形凹陷；所述球形铰链，上部的球头与球形凹陷啮合；所述球头与加热盘座，通过锁紧机构进行固定锁死或解锁活动；所述锁紧机构，包括可移动销钉；所述加热盘座，下部设置有用于固定位置的孔洞；所述可移动销钉，插入或拔出孔洞，将球头与加热盘进行固定锁死或解锁活动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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