恭喜深圳市埃芯半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜深圳市埃芯半导体科技有限公司申请的专利基于CIM的半导体量测工艺控制方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117238800B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310970084.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基于CIM的半导体量测工艺控制方法和装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2023-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于CIM的半导体量测工艺控制方法和装置在说明书摘要公布了：本申请适用于半导体制造技术领域，提供了一种基于CIM的半导体量测工艺控制方法、装置、设备及介质。其中，其中一种方法，应用于第一端，包括：根据量测配方信息确定目标组件、量测路径以及量测参数，并生成第一指令；发送所述第一指令至一个或多个指定的第二端；所述第一指令能够基于至少两组执行设备中的任一组被执行，以使得所述目标组件经所述量测路径获得所述量测参数。上述方法通过根据配方信息生成够基于至少两组执行设备中的任一组被执行的第一指令，解决了由于设备的配置不同导致现有的工艺控制软件无法通用的问题。
本发明授权基于CIM的半导体量测工艺控制方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种基于CIM的半导体量测工艺控制方法，其特征在于，应用于第一端，包括：根据量测配方信息确定目标组件、量测路径以及量测参数，并生成第一指令；发送所述第一指令至一个或多个指定的第二端；所述第一指令能够基于至少两组执行设备中的任一组被执行，以使得所述目标组件经所述量测路径获得所述量测参数；所述量测配方信息包括目标组件和量测参数，所述根据量测配方信息确定目标组件、量测路径以及量测参数的步骤包括：基于预设规则，根据所述目标组件和所述量测参数确定所述量测路径，所述量测路径包括在预设的工序集合中确定的且具有一定顺序的多个工序。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市埃芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙华区观澜街道库坑社区库坑观光路1310号喷油车间6栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号