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龙图腾网恭喜中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利一种具备时空整形功能的大深径比微孔加工装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116213920B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310441675.9，技术领域涉及：B23K26/064；该发明授权一种具备时空整形功能的大深径比微孔加工装置及方法是由李珣;李明设计研发完成，并于2023-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具备时空整形功能的大深径比微孔加工装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具备时空整形功能的大深径比微孔加工装置及方法，以解决采用现有飞秒激光加工装置及方法加工的微纳结构深径比不足且深孔形貌不可控，导致被加工的材料表面粗糙度过高，且材料品质较低的问题。具体包括包括锥透镜、分束镜、反射单元、反射延时单元、第一平凸镜、第二平凸镜、合束镜及显微物镜；锥透镜的大端接收入射激光，其小端出射贝塞尔光束至分束镜；分束镜将贝塞尔光束分为第一分光束和或第二分光束；反射单元和第一平凸镜依次设置在第一分光束所在光路上；反射延时单元和第二平凸镜依次设置在第二分光束所在光路上；第一平凸镜和第二平凸镜的焦距不同；合束镜与第一平凸镜和第二平凸镜对应；显微物镜出射加工激光。

本发明授权一种具备时空整形功能的大深径比微孔加工装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种具备时空整形功能的大深径比微孔加工装置，其特征在于：包括锥透镜1、分束镜2、反射单元、反射延时单元、第一平凸镜3、第二平凸镜4、合束镜5以及显微物镜6；所述锥透镜1的大端接收入射激光01，其小端出射贝塞尔光束02至分束镜2；所述分束镜2用于将贝塞尔光束02分为第一分光束03和或第二分光束04，所述分束镜2上设有全透光以及分光比为1:1～1:10的多个分光区域；所述反射单元和第一平凸镜3依次设置在第一分光束03所在光路上，用于对第一分光束03进行反射，使得第一分光束03通过第一平凸镜3后到达所述合束镜5；所述反射延时单元和第二平凸镜4依次设置在第二分光束04所在光路上，用于对第二分光束04进行反射，使得第二分光束04通过第二平凸镜4后到达所述合束镜5，并对第二分光束04到达合束镜5的光程进行适时调节；所述第一平凸镜3的焦距f1和第二平凸镜4的焦距f2不同；所述合束镜5分别与第一平凸镜3和第二平凸镜4对应，将第一分光束03和第二分光束04合束之后发射至所述显微物镜6；所述显微物镜6出射加工激光05。

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