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恭喜无锡松瓷机电有限公司宋霄获国家专利权

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龙图腾网恭喜无锡松瓷机电有限公司申请的专利一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116288665B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310275870.9,技术领域涉及:C30B15/26;该发明授权一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备是由宋霄;杨俊;刘闯;王玉栋;顾友生;浦俊;席存庚;罗家明;闫可君;肖鹏设计研发完成,并于2023-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备,其中等径过程中的晶棒断棱检测方法,所述方法包括:获取晶棒在等径过程中的检测参数;当晶棒的检测参数达到Mi时,获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i;判断第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i、第四棱线的平均凸起值A4i中是否存在小于或等于预设报警凸起值Bi的凸起值。本申请在预设的验证长度或者预设的验证时长内对等径阶段晶棒的棱线凸起值进行判断,可以减少因晶棒缩小或涨大所引起的测量误差,减少虚假报警的发生,有助于精确地控制长晶工艺。

本发明授权一种等径过程中的晶棒断棱检测方法、存储介质及拉晶设备在权利要求书中公布了:1.一种等径过程中的晶棒断棱检测方法,其特征在于,所述等径过程中的晶棒断棱检测方法包括:获取晶棒在等径过程中的检测参数,所述检测参数为晶棒的等径长度或等径时刻;当所述晶棒的检测参数达到Mi时,获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i,所述第一棱线、所述第二棱线、所述第三棱线和所述第四棱线周向均匀生长于所述晶棒的外表面;判断所述第一棱线的平均凸起值A1i、所述第二棱线的平均凸起值A2i、所述第三棱线的平均凸起值A3i、所述第四棱线的平均凸起值A4i中是否存在小于或等于预设报警凸起值Bi的凸起值;若存在,则进行报警判断;若不存在,则将i+1,继续执行当所述晶棒的检测参数达到Mi时,获取第一棱线的平均凸起值A1i、第二棱线的平均凸起值A2i、第三棱线的平均凸起值A3i和第四棱线的平均凸起值A4i的步骤;其中,Mi=M0+i*m,当所述检测参数为晶棒的等径长度时,M0为预设的等径长度初始值,i为大于等于0的自然数,m为凸起值的验证长度;当所述检测参数为晶棒的等径时刻时,M0为预设的等径时刻初始值,i为大于等于0的自然数,m为凸起值的验证时长;所述等径过程中的晶棒断棱检测方法,还包括:计算所述第一棱线的平均凸起值A1i、所述第二棱线的平均凸起值A2i、所述第三棱线的平均凸起值A3i、所述第四棱线的平均凸起值A4i的平均凸起值将所述平均凸起值减去预设减数值a,得到报警凸起值验证值Bi’;将连续的n个报警凸起值验证值Bi’的平均值作为检测参数达到Mi时的预设报警凸起值Bi。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡松瓷机电有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市锡山区锡山经济开发区芙蓉四路195号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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