恭喜江西兆驰半导体有限公司马婷获国家专利权
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龙图腾网恭喜江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种倒装LED芯片及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115172550B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210982912.8,技术领域涉及:H10H20/816;该发明授权一种倒装LED芯片及其制备方法是由马婷;兰晓雯;焦恩;胡加辉;金从龙设计研发完成,并于2022-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种倒装LED芯片及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种倒装LED芯片及其制备方法,属于LED芯片的技术领域;所述制备方法包括针对在具有深度为A微米的Mesa台阶的初始芯片结构的基础上,针对初始芯片结构上Mesa台阶区域的p型电极及p型焊盘电极形成的p型台阶进行厚度为B微米的不导电材料的填充,以弥补所述p型电极与所述n型电极之间的高度差;其中,A‑B≤2。本发明通过在焊盘电极蒸镀后增加光刻工艺及在p型电极一侧填充不导电材料,在确保p型电极与n型电极存在一定高度差结构的基础上,达到弥补p型电极与n型电极之间高度差的目的,从而提高倒装LED芯片在后续加工中的良率。
本发明授权一种倒装LED芯片及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种倒装LED芯片的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括提供一衬底;在所述衬底上生长外延层,并将所述外延层键合在基板上;将所述衬底去除,并对所述外延层的部分表面进行深度为A微米的刻蚀,以暴露出Mesa台阶;在未刻蚀的所述外延层的表面及所述Mesa台阶的表面分别制作n型电极和p型电极;在所述外延层、所述Mesa台阶、所述n型电极以及所述p型电极上制备布拉格反射层,并对所述布拉格反射层进行刻蚀以得到n型导电通孔和p型导电通孔;在所述布拉格反射层上制备n型焊盘电极以及p型焊盘电极以形成初始芯片结构,并使所述n型焊盘电极通过所述n型导电通孔与所述n型电极电性连接,且使所述n型焊盘电极通过所述n型导电通孔与所述n型电极电性连接;针对所述Mesa台阶区域的所述p型电极及所述p型焊盘电极形成的p型台阶进行厚度为B微米的不导电材料的填充,以弥补所述p型电极与所述n型电极之间的高度差;其中,A-B≤2。
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