恭喜长江存储科技有限责任公司张昆获国家专利权
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龙图腾网恭喜长江存储科技有限责任公司申请的专利3D存储器件的结构特征图案化方法及曝光掩模获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115274410B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210876249.3，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权3D存储器件的结构特征图案化方法及曝光掩模是由张昆;张雷设计研发完成，并于2022-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本3D存储器件的结构特征图案化方法及曝光掩模在说明书摘要公布了：本申请公开了3D存储器件的结构特征图案化方法及曝光掩模，该结构特征具有端部。该曝光掩模包括：基板；以及位于所述基板上的掩模图案，所述掩模图案包括特征图形以及与所述特征图形接触的亚分辨率辅助图形，其中，所述特征图形与待制备的存储器件的特征结构相对应，所述亚分辨率辅助图形与所述特征图形中至少一个端部的至少部分接触且围绕设置在所述端部的周围，以优化所述特征结构的端部形状。在3D存储器件中，采用该曝光掩模获得的结构特征由于端部形状优化可以提高存储密度和可靠性。
本发明授权3D存储器件的结构特征图案化方法及曝光掩模在权利要求书中公布了：1.一种用于存储器件的曝光掩模，其特征在于，包括：基板；以及位于所述基板上的掩模图案，所述掩模图案包括特征图形以及与所述特征图形接触的第一亚分辨率辅助图形，其中，所述特征图形与待制备的存储器件的特征结构相对应，所述第一亚分辨率辅助图形与所述特征图形中至少一个端部的至少部分接触且围绕设置在所述端部的周围，还包括：多个第二亚分辨率辅助图形，所述第二亚分辨率辅助图形分别位于相邻的两个所述第一亚分辨率辅助图形之间。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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