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龙图腾网恭喜君原电子科技(海宁)有限公司申请的专利一种静电卡盘静电吸附力测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115165183B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210666509.4，技术领域涉及：G01L5/00；该发明授权一种静电卡盘静电吸附力测量装置是由石锗元;陈茂雄;李君;肖伟设计研发完成，并于2022-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种静电卡盘静电吸附力测量装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种静电卡盘静电吸附力测量装置，属于静电卡盘技术领域，包括真空腔室和与所述真空腔室联通的真空获取装置，所述真空腔室设置在机架上，所述真空腔室中设有静电卡盘和吸附物侧拉装置，所述吸附物侧拉装置包括定位装置和驱动组件，所述定位装置与所述驱动组件通过柔索连接，所述吸附物侧拉装置还包括用于保持所述柔索平行的限位组件，所述限位组件设置在所述驱动组件与所述定位装置之间，所述限位组件与所述定位装置间设有拉力传感器，所述拉力传感器设置在所述柔索上。

本发明授权一种静电卡盘静电吸附力测量装置在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘静电吸附力测量装置，包括真空腔室和与所述真空腔室联通的真空获取装置，其特征在于：所述真空腔室设置在机架上，所述真空腔室中设有静电卡盘和吸附物侧拉装置，所述吸附物侧拉装置包括定位装置和驱动组件，所述定位装置与所述驱动组件通过柔索连接，所述吸附物侧拉装置还包括用于保持所述柔索平行的限位组件，所述限位组件设置在所述驱动组件与所述定位装置之间，所述限位组件与所述定位装置间设有拉力传感器，所述拉力传感器设置在所述柔索上；所述定位装置包括定位环组件和定位节组件，所述定位环组件包括定位环索，所述定位环索的一端与所述定位节组件固定连接，所述定位环索的另一端与所述定位节组件滑动连接；所述定位节组件包括壳体，所述壳体与所述机架通过支撑架连接，所述壳体中设有用于通过所述定位索环的第一通道；所述壳体中还设有索环限位组件，所述索环限位组件包括限位块，所述限位块与所述壳体内侧壁通过弹簧连接，所述壳体中设有用于所述限位块通过的第二通道，所述第二通道与所述第一通道间联通，所述限位块上设有拨杆，所述拨杆穿过所述壳体伸出到所述壳体之外，所述壳体上设有与所述拨杆配合的限位通槽。

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