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龙图腾网恭喜徐州美芯半导体材料科技有限公司;江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司申请的专利一种单晶炉副室智能清洁装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113976559B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111182404.3，技术领域涉及：B08B9/08；该发明授权一种单晶炉副室智能清洁装置及其控制方法是由佘辉;关春洋;吴亚娟设计研发完成，并于2021-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单晶炉副室智能清洁装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种单晶炉副室智能清洁装置及其控制方法，包括可伸缩支撑部件和储液装置，可伸缩支撑部件上部安装有清洗装置，储液装置通过第一管路与清洗装置连接，第一管路上连接有抽水泵，还包括车体、控制器和电源，车体内底部固定有电机，电机输出轴与转盘底部圆心相连，转盘底部与电机之间安装有加强筋，加强筋固定在电机轴与转盘底部之间；可伸缩支撑部件安装在转盘上，其顶部安装有第一距离传感器，其下部安装有接水装置，该接水装置直径大于副室内径，第一距离传感器、电机、抽水泵、电源均与控制器电连接。本发明智能化程度高，操作方便、简单，能够有效地避免清洗液滴落到地面，清洁更加彻底，且适用于多种直径的副室。

本发明授权一种单晶炉副室智能清洁装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种单晶炉副室智能清洁装置，包括可伸缩支撑部件（10）和储液装置（18），可伸缩支撑部件（10）上部安装有用于清洗副室内壁的清洗装置，储液装置（18）通过第一管路与清洗装置连接，第一管路（3）上连接有抽水泵（13），其特征在于，还包括车体（24）、控制器（22）和电源，车体（24）内底部固定有电机（17），电机（17）上部设有转盘（16），电机输出轴（23）与转盘（16）底部圆心相连，转盘（16）底部与电机（17）之间至少安装有3个加强筋（25），加强筋（25）第一端固定在电机（17）轴上，其第二端固定在转盘（16）上，加强筋（25）第二端与转盘（16）圆心之间的距离为d，d与转盘（16）半径r之间的关系为：r2＜d＜r；可伸缩支撑部件（10）安装在转盘（16）上，其顶部安装有第一距离传感器（1），其下部套设有上部开口的接水装置（11），该接水装置（11）固定在可伸缩支撑部件（10）上，其直径大于副室内径、且不会随着可伸缩支撑部件（10）的伸出或缩回而上下移动，控制器（22）和电源安装在转盘（16）底部，储液装置（18）和抽水泵（13）均安装在转盘（16）上，第一距离传感器（1）、电机（17）、抽水泵（13）、电源均与控制器（22）电连接；转盘（16）上安装有废液盛放装置（14），废液盛放装置（14）进液口通过第二管路（12）与接水装置（11）底部出液口连接；储液装置（18）、废液盛放装置（14）以及可伸缩支撑部件（10）均为圆柱形，储液装置（18）和废液盛放装置（14）高度相等；储液装置（18）置于废液盛放装置（14）内部，其内径是废液盛放装置（14）内径的13-12；可伸缩支撑部件（10）固定安装在储液装置（18）顶部，储液装置（18）、废液盛放装置（14）、可伸缩支撑部件（10）同轴设置。

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