恭喜北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司龙茂林获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司申请的专利用于清洁等离子体加工设备的聚焦环的导电构件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114975056B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111048934.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权用于清洁等离子体加工设备的聚焦环的导电构件是由龙茂林;管长乐设计研发完成，并于2021-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于清洁等离子体加工设备的聚焦环的导电构件在说明书摘要公布了：本公开提供了基座组件和等离子体加工设备。该基座组件包括被配置为支撑工件的静电卡盘。该基座组件包括具有顶表面和底表面的聚焦环。该聚焦环可以被配置为当工件定位在静电卡盘上时围绕工件的周边。该基座组件包括多个绝缘体。该基座组件还包括定位在聚焦环的底表面的至少一部分和多个绝缘体中的一个绝缘体的至少一部分之间的导电构件。
本发明授权用于清洁等离子体加工设备的聚焦环的导电构件在权利要求书中公布了：1.一种基座组件，包括：静电卡盘，被配置为支撑工件；聚焦环，具有顶表面和底表面，所述聚焦环被配置为当所述工件定位在所述静电卡盘上时围绕所述工件的周边；多个绝缘体；和导电构件，定位在所述聚焦环的所述底表面的至少一部分和所述多个绝缘体中的一个绝缘体的至少一部分之间，所述导电构件沿第一轴与所述静电卡盘的周边间隔开第一距离，所述导电构件沿第二轴与所述静电卡盘的周边间隔开第二距离，所述第一距离不同于所述第二距离，所述第一轴与所述第二轴在平面上相交，并且所述第一轴和所述第二轴成与90度相差小于15度的角度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区经海二路28号8幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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