恭喜深圳市美思先端电子有限公司武斌获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市美思先端电子有限公司申请的专利一种窄带滤光片及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113219573B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110591940.2,技术领域涉及:G02B5/28;该发明授权一种窄带滤光片及其制备方法是由武斌;刘文波设计研发完成,并于2021-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种窄带滤光片及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种窄带滤光片及其制备方法,其中,窄带滤光片,其膜系结构为满足λ4周期对称的膜系0.5HL0.5HS和0.5LH0.5LS,其中,λ为波长,H为锗的λ4光学厚度层,L为一氧化硅的λ4光学厚度层,S为周期数。本发明通过采用膜系结构为满足λ4周期对称的膜系0.5HL0.5HS和0.5LH0.5LS,且选用锗和一氧化硅为镀膜材料所构成窄带滤光片,其透射率高,中心波长容差小,能极大的提高信噪比,测试一致性好,准确度高的特点。
本发明授权一种窄带滤光片及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种窄带滤光片,用于CO2气体传感器,其特征在于,该窄带滤光片包括基片(1)、主膜系结构层(2)和干涉截止膜系结构层(3),所述基片(1)位于所述主膜系结构层(2)和干涉截止膜系结构层(3)之间,所述主膜系结构层(2)和所述干涉截止膜系结构层(3)均以锗和一氧化硅为镀膜材料;与所述基片(1)相邻的膜层为第一层,所述主膜系结构层(2)中第一层为一氧化硅膜层,最后一层为一氧化硅膜层,偶数层均为锗膜层,奇数层均为一氧化硅膜层;所述干涉截止膜系结构层(3)中第一层为一氧化硅膜层,最后一层为一氧化硅膜层,所述偶数层均为锗膜层,奇数层均为一氧化硅膜层;所述主膜系结构层(2)中:第1层几何厚度为180.84nm;第2层几何厚度为82.9nm;第3层几何厚度为162.76nm;第4层几何厚度为82.15nm;第5层几何厚度为179.84nm;第6层几何厚度为72.55nm;第7层几何厚度为187.82nm;第8层几何厚度为81.77nm;第9层几何厚度为155.64nm;第10层几何厚度为85.58nm;第11层几何厚度为175.74nm;第12层几何厚度为82.63nm;第13层几何厚度为289.66nm;第14层几何厚度为137.37nm;第15层几何厚度为276.26nm;第16层几何厚度为118.45nm;第17层几何厚度为249.6nm;第18层几何厚度为142.25nm;第19层几何厚度为277.44nm;第20层几何厚度为117.17nm;第21层几何厚度为271.29nm;第22层几何厚度为126.69nm;第23层几何厚度为299.65nm;第24层几何厚度为134.44nm;第25层几何厚度为369.42nm;第26层几何厚度为176.23nm;第27层几何厚度为399.07nm;第28层几何厚度为184.42nm;第29层几何厚度为405.9nm;第30层几何厚度为183.56nm;第31层几何厚度为406.25nm;第32层几何厚度为180.49nm;第33层几何厚度为402.17nm;第34层几何厚度为173.58nm;第35层几何厚度为374.93nm;第36层几何厚度为170.24nm;第37层几何厚度为400.94nm;第38层几何厚度为116.58nm;第39层几何厚度为352.25nm;第40层几何厚度为313.85nm;第41层几何厚度为713.31nm;第42层几何厚度为322.43nm;第43层几何厚度为711nm;第44层几何厚度为316.23nm;第45层几何厚度为712.13nm;第46层几何厚度为329.44nm;第47层几何厚度为838.19nm;第48层几何厚度为323.71nm;第49层几何厚度为695.64nm;第50层几何厚度为314.01nm;第51层几何厚度为750.99nm;第52层几何厚度为354.68nm;第53层几何厚度为356.14nm;干涉截止膜系结构层(3)中:第1层几何厚度为112.3nm;第2层几何厚度为84.12nm;第3层几何厚度为1227.67nm;第4层几何厚度为512.97nm;第5层几何厚度为1217.52nm;第6层几何厚度为484.83nm;第7层几何厚度为1041.4nm;第8层几何厚度为483.37nm;第9层几何厚度为1199.84nm;第10层几何厚度为484.92nm;第11层几何厚度为1039.56nm;第12层几何厚度为483.15nm;第13层几何厚度为1224.48nm;第14层几何厚度为500.92nm;第15层几何厚度为925.04nm;第16层几何厚度为66.7nm;第17层几何厚度为94.5nm;第18层几何厚度为299.91nm;第19层几何厚度为539.42nm。
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