恭喜ASML荷兰有限公司A·胡包克斯获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于预测与过程相关联的过程度量的方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115349109B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180025354.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于预测与过程相关联的过程度量的方法和设备是由A·胡包克斯设计研发完成，并于2021-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于预测与过程相关联的过程度量的方法和设备在说明书摘要公布了：一种方法，方法包括：获得被配置用于基于输入过程数据来预测制造过程的过程度量的一个或多个模型；以及基于将新的过程数据输入到一个或多个模型，使用强化学习框架来评估一个或多个模型和或一个或多个模型的模型配置，并且基于输入新的过程数据来确定在预测所述过程度量时所述一个或多个模型和或模型配置的性能指示。
本发明授权用于预测与过程相关联的过程度量的方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种用于预测制造过程的过程度量的方法，所述方法包括：获得一个或多个模型，所述一个或多个模型被配置用于基于输入过程数据来预测制造过程的过程度量；以及基于将新的过程数据输入到所述一个或多个模型，使用强化学习框架来评估所述一个或多个模型和或所述一个或多个模型的模型配置，并且基于输入新的过程数据来确定在预测所述过程度量时所述一个或多个模型和或模型配置的性能指示。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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