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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利流量测量方法和流量测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113295225B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110175393.X，技术领域涉及：G01F1/86；该发明授权流量测量方法和流量测量装置是由松田梨沙子;早坂伸一郎;大家学;庄司庆太设计研发完成，并于2021-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本流量测量方法和流量测量装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种流量测量方法和流量测量装置，能高精度地测量气体的流量。在流量测量方法中：测量第一、第二流路的气体的第一压力；重复进行向第一流路的气体的供给和停止，来向第一、第二流路供给气体；在供给气体时，测量从各开信号到关信号期间的气体供给时间；测量第一、第二流路的气体的第二压力和温度；在将第一、第二流路间关闭并从第二流路进行了排气后，测量第二流路的气体的第三压力；在第一、第二流路进行了连接的状态下，测量第一、第二流路的气体的第四压力；基于第一～第四压力和温度来计算被供给到第一、第二流路的气体流量；计算与重复次数相应的量的气体供给时间的平均时间；以及基于理论上的气体供给时间和平均时间来校正流量。

本发明授权流量测量方法和流量测量装置在权利要求书中公布了：1.一种流量测量方法，其特征在于，包括以下步骤：测量被填充到第一流路和第二流路的气体的第一压力，所述第一流路与流量控制器连接，所述第二流路与所述第一流路连接；通过将以下动作重复进行多次，来向所述第一流路和所述第二流路供给气体，所述动作包括：在测量出所述第一压力之后，经由所述流量控制器向所述第一流路供给气体；以及在从开始经由所述流量控制器向所述第一流路供给气体的定时起经过了规定时间后，停止经由所述流量控制器向所述第一流路供给气体；在向所述第一流路和所述第二流路供给气体时，测量从控制部向所述流量控制器输出用于开始向所述第一流路供给气体的信号起至从控制部向所述流量控制器输出用于停止向所述第一流路供给气体的信号为止的气体供给时间；在将气体供给到所述第一流路和所述第二流路之后，测量被填充到所述第一流路和所述第二流路的气体的第二压力和温度；在所述第一流路与所述第二流路之间未被连接的状态下从所述第二流路排出气体之后，测量被填充到所述第二流路的气体的第三压力；在测量出所述第三压力之后，在将所述第一流路与所述第二流路进行了连接的状态下测量被填充到所述第一流路和所述第二流路的气体的第四压力；基于所述第一压力、所述第二压力、所述第三压力、所述第四压力以及所述温度，来计算经由所述流量控制器被供给到所述第一流路和所述第二流路的气体的流量；对进行与气体的供给和停止的重复次数相应次的测量所得到的所述气体供给时间计算平均时间；基于所述控制部的理论上的所述气体供给时间和计算出的所述平均时间，来校正计算出的所述流量。

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