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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利对准装置、光刻机及对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690594B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011625749.7，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权对准装置、光刻机及对准方法是由邢奕飞;高安;孙建超设计研发完成，并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本对准装置、光刻机及对准方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种对准装置、光刻机及对准方法。所述光照单元提供的所述光照经光栅标记发生衍射并产生衍射光，所述衍射光经所述分光单元分为具有第二偏振方向的第三衍射光和具有第一偏振方向的第四衍射光。所述第三衍射光和所述第四衍射光经所述第一波片透射后，以在第一偏振方向和第二偏振方向均发生干涉并产生干涉光。再由第一探测器和第二探测器分别获取所述干涉光中的第一偏振光和第二偏振光的光能量。当移动所述光栅标记至所述第一探测器和所述第二探测器分别获取的所述光能量均达到预设值时，所述光栅标记的所在位置为对准位置。因此，本发明无需使用自参考干涉棱镜，即可实现衍射级次的干涉，不但成本低，操作简便，而且对准精度高。

本发明授权对准装置、光刻机及对准方法在权利要求书中公布了：1.一种对准装置，其特征在于，所述对准装置包括：光照单元、分光单元和探测单元；其中，所述光照单元用于提供光照；所述分光单元包括第一偏振分光棱镜、第一镜组和第二镜组；所述光照经一光栅标记发生衍射并产生衍射光，所述衍射光经所述第一偏振分光棱镜分为具有第一偏振方向的第一衍射光和具有第二偏振方向的第二衍射光；所述第一衍射光经所述第一偏振分光棱镜反射后，经所述第一镜组转换为具有第二偏振方向的第三衍射光，所述第三衍射光经所述第一偏振分光棱镜透射至所述探测单元；所述第二衍射光经所述第一偏振分光棱镜透射后，经所述第二镜组转换为具有第一偏振方向的第四衍射光，所述第四衍射光经所述第一偏振分光棱镜反射至所述探测单元；所述探测单元包括第一波片、第二偏振分光棱镜、第一探测器和第二探测器；所述第三衍射光和所述第四衍射光经所述第一波片透射后改变偏振方向，以在所述第一偏振方向上和所述第二偏振方向上分别发生干涉，并形成干涉光；所述干涉光经所述第二偏振分光棱镜分为第一偏振光和第二偏振光；所述第一探测器获取所述第一偏振光的光能量，所述第二探测器获取所述第二偏振光的光能量；当移动所述光栅标记至所述第一探测器和所述第二探测器分别获取的所述光能量均达到预设值时，所述光栅标记的所在位置为对准位置。

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