恭喜东京毅力科创株式会社鹤田丰久获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利形状特性值推算装置、形状特性值推算方法和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113032950B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011381443.1,技术领域涉及:G06F30/20;该发明授权形状特性值推算装置、形状特性值推算方法和存储介质是由鹤田丰久;依田祐介;保坂理人设计研发完成,并于2020-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本形状特性值推算装置、形状特性值推算方法和存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及形状特性值推算装置、形状特性值推算方法和存储介质。形状特性值推算装置包括:获取处理后图像的处理后图像获取部,该处理后图像包括形成有对象膜的基片的表面的图像信息;对处理后图像应用用于推算对象膜的形状特性值的推算模型推算形状特性值的推算部,该推算模型涉及处理后图像中的基片表面的颜色的信息与对象膜的形状特性值之间的相关性;生成基底影响模型的基底影响模型生成部,该基底影响模型涉及对象膜的形状特性值的推算结果和不使用推算模型获得的形状特性值之差分、与基底基片表面的颜色的信息之间相关性;以及基于基底影响模型校正推算结果的推算结果校正部。本发明能够更高精度地推算形成于对象基片的膜的形状的特性值。
本发明授权形状特性值推算装置、形状特性值推算方法和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种形状特性值推算装置,其特征在于,包括:获取处理后图像的处理后图像获取部,其中,所述处理后图像包括与形成有对象膜的基片的表面相关的图像信息;推算部,其通过对所述处理后图像应用用于推算所述对象膜的形状特性值的推算模型来进行所述对象膜的形状特性值的推算,所述推算模型涉及所述处理后图像所包含的所述基片的表面的颜色的信息与形状特性值之间的相关性,其中,所述形状特性值是与形成于该基片的所述对象膜的形状相关的特性值;生成基底影响模型的基底影响模型生成部,其中,所述基底影响模型是涉及由所述推算部得到的所述对象膜的形状特性值的推算结果和不使用所述推算模型获得的所述对象膜的形状特性值之差分、与基底基片的表面的颜色的信息之间的相关性的模型,所述基底基片是形成所述对象膜之前的基片;以及推算结果校正部,其基于所述基底影响模型,校正由所述推算部得到的所述对象膜的形状特性值的推算结果。
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