恭喜应用材料公司戚波获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利高硼含量硬掩模材料获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114846578B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080090639.7，技术领域涉及：H01L21/033；该发明授权高硼含量硬掩模材料是由戚波;Z·沈;A·玛里克设计研发完成，并于2020-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本高硼含量硬掩模材料在说明书摘要公布了：示例性方法可包括：将含硼前驱物输送到半导体处理腔室的处理区域。方法还可包括：由含硼前驱物在半导体处理腔室的处理区域内形成等离子体。方法可进一步包括：在设置在半导体处理腔室的处理区域内的基板上沉积含硼材料。含硼材料可包括大于50％的硼。在一些实施例中，含硼材料可基本上全部由硼组成。在一些实施例中，方法可进一步包括：将含锗前驱物、含氧前驱物、含硅前驱物、含磷前驱物、含碳前驱物和或含氮前驱物中的至少一者输送到半导体处理腔室的处理区域。含硼材料可进一步包括锗、氧、硅、磷、碳和或氮中的至少一者。
本发明授权高硼含量硬掩模材料在权利要求书中公布了：1.一种方法，包括：将含硼前驱物和含锗前驱物输送到半导体处理腔室的处理区域；由所述含硼前驱物和所述含锗前驱物在所述半导体处理腔室的所述处理区域内形成等离子体；以及在设置在所述半导体处理腔室的所述处理区域内的基板上沉积含硼材料，其中所述含硼材料包括大于50％的硼，并且其中所述含硼材料包括小于20％的锗。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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