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龙图腾网恭喜内蒙古中环晶体材料有限公司申请的专利一种单晶炉气密性的检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114486107B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011259857.7，技术领域涉及：G01M3/26；该发明授权一种单晶炉气密性的检测方法是由马博;周泽;王林;张国栋;乌恩;郭志荣;王建平;阿古达木;钟旭设计研发完成，并于2020-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单晶炉气密性的检测方法在说明书摘要公布了：本发明揭露了一种单晶炉气密性的检测方法，包括关闭单晶炉的进气阀与排气阀；对单晶炉进行抽真空，且持续时间为T1，完毕后检测单晶炉内的实际压强；对比单晶炉内的实际压强变化量与标准压强变化量,若单晶炉内的实际压强变化量≥标准压强变化量，则保持单晶炉闭气，且持续时间为T2，完毕后再次检测单晶炉内的实际压强；再对比、判断单晶炉内的实际压强是否增大，如果否，则判定该单晶炉气密性良好，如果是，则判定该单晶炉气密性差；如此，本发明采用的检测方法能准确判断单晶炉气密性能的好坏，进而保护热场，保证拉制单晶的质量，保证产品的合格率，降低生产成本。

本发明授权一种单晶炉气密性的检测方法在权利要求书中公布了：1.一种单晶炉气密性的检测方法，其特征在于：包括S1.关闭单晶炉的进气阀与排气阀；S2.对单晶炉进行抽真空，且持续时间为T1，完毕后检测单晶炉内的实际压强；S3.对比单晶炉内的实际压强变化量与标准压强变化量,若单晶炉内的实际压强变化量≥标准压强变化量，则直接执行步骤S4;S4.保持单晶炉闭气，且持续时间为T2，完毕后再次检测单晶炉内的实际压强;S5.对比、判断单晶炉内的实际压强是否增大，如果否，则判定该单晶炉气密性良好；如果是，则判定单晶炉气密性差；在上述步骤S3中，若单晶炉内的实际压强变化量＜标准压强变化量时，则执行步骤S6，所述步骤S6包括:S61.继续抽真空，且持续时间为T3,完毕后检测单晶炉内的实际压强;S62.对比单晶炉内的实际压强变化量与标准压强变化量，若单晶炉内的实际压强变化量≥标准压强变化量，则再依次执行步骤S4、S5；在所述步骤S62中，若单晶炉内的实际压强变化量＜标准压强变化量时，则判定该单晶炉的气密性差；在所述步骤S62中，所述实际压强变化量为T1+T3时间内单晶炉内的实际压强变化量，对应的，所述标准压强变化量为T1+T3时间内的标准压强变化量；或，所述实际压强变化量为T3时间内单晶炉内的实际压强变化量，对应的，所述标准压强变化量为T3时间内的标准压强变化量；所述T3≥T1，所述T2≤T1；所述T3设置为6-12min，所述T1设置为4-8min，所述T2设置为3-5min。

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