恭喜凯斯科技股份有限公司金炯剟获国家专利权
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龙图腾网恭喜凯斯科技股份有限公司申请的专利包括具有倾斜面的门部的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114762096B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080083228.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权包括具有倾斜面的门部的基板处理装置是由金炯剟;李童华;郑有善设计研发完成，并于2020-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本包括具有倾斜面的门部的基板处理装置在说明书摘要公布了：根据一个实施例的基板处理装置，可包括：腔室部，其在内部具有处理空间，并包括腔室倾斜面，腔室倾斜面形成有开口部；门部，其包括与腔室倾斜面相对应的门倾斜面，并可与腔室部相结合；以及门驱动部，其对门部进行驱动，以便使得处理空间开闭。
本发明授权包括具有倾斜面的门部的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：腔室部，其在内部具有处理空间，并包括形成有开口部的腔室倾斜面；门部，其包括与腔室倾斜面相对应的门倾斜面，并可与腔室部相结合；以及门驱动部，其对门部进行驱动，以便使得处理空间开闭；夹具部，其在腔室部及门部结合的状态下，至少包围腔室部及门部的一部分；下部夹具体，其与门部相接触；上部夹具体，其隔开配置于下部夹具体的上侧；以及侧部夹具体，其连接下部夹具体及上部夹具体的两侧。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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