恭喜信越化学工业株式会社平野祯典获国家专利权
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龙图腾网恭喜信越化学工业株式会社申请的专利感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114600045B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080073517.7,技术领域涉及:G03F7/075;该发明授权感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法是由平野祯典;浅井聪;五井孝浩设计研发完成,并于2020-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法在说明书摘要公布了:提供感光性树脂组合物,其包含:A包含由下述式A1表示的重复单元、和选自由下述式A2表示的重复单元及由下述式A3表示的重复单元中的至少1种的聚合物、B在1分子中平均包含4个以上的环氧基的环氧化合物、C光致产酸剂、D苯并三唑化合物和或咪唑化合物、和E有机溶剂。
本发明授权感光性树脂组合物、感光性干膜及图案形成方法在权利要求书中公布了:1.感光性树脂组合物,其包含:A包含选自由下述式A1表示的重复单元、由下述式A2表示的重复单元和由下述式A3表示的重复单元中的至少1种的聚合物,B在1分子中包含平均4个以上的环氧基的环氧化合物,C光致产酸剂,D苯并三唑化合物和或咪唑化合物,和E有机溶剂,B成分的含量相对于100质量份的A成分为30~200质量份,C成分的含量相对于100质量份的A成分为0.2~20质量份,D成分的含量相对于100质量份的A成分为0.01~10质量份,E成分的含量为组合物中的20~90质量%,[化1] 式中,X1及X2各自独立地为氢原子或缩水甘油基,Y1为碳数1~5的亚烷基,Z1为可包含羟基的碳数1~10的直链状亚烷基、碳数2~10的分支状亚烷基、或由下述式A4表示的2价的基团,[化2] 式中,Z11及Z13各自独立地为碳数1~5的亚烷基,Z12为碳数1~30的亚烃基,a4及a5各自独立地为1~50的整数,Z2及Z3各自独立地为单键或碳数1~10的亚烷基,R1、R2、R3及R4各自独立地为氢原子或碳数1~10的烃基,a1、a2及a3为满足0<a1<1、0≤a2<1、0≤a3<1及a1+a2+a3=1的数,x及y各自独立地为1~50的整数。
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