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龙图腾网恭喜日本株式会社日立高新技术科学申请的专利粒子束照射装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112635278B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010993810.7，技术领域涉及：H01J37/22；该发明授权粒子束照射装置是由麻生拓笃;满欣;佐藤诚;麻畑达也设计研发完成，并于2020-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本粒子束照射装置在说明书摘要公布了：提供粒子束照射装置，进行基于多个检测器的观察时，能缩短多个检测器的亮度调整的时间。粒子束照射装置具有照射粒子束的照射部、检测第1粒子的第1检测部、检测第2粒子的第2检测部、像形成部和控制部，像形成部进行如下处理：形成基于第1检测部检测到第1粒子的第1信号的观察像；形成基于第2检测部检测到第2粒子的第2信号的观察像，控制部进行如下处理：计算形成的第1观察像的第1区域的亮度，第1区域的亮度与第1目标亮度不同时，根据第1目标亮度进行第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；计算形成的第2观察像的第2区域的亮度，第2区域的亮度与第2目标亮度不同时，根据第2目标亮度进行第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。

本发明授权粒子束照射装置在权利要求书中公布了：1.一种粒子束照射装置，该粒子束照射装置具备：照射部，其向规定的照射区域内照射粒子束；第1检测部，其对第1粒子进行检测，所述第1粒子是通过对配置在所述照射区域内的试样照射所述粒子束而从所述试样产生的；第2检测部，其对第2粒子进行检测，所述第2粒子是通过对所述试样照射所述粒子束而从所述试样产生的；像形成部；以及控制部，其中，所述像形成部执行以下处理：形成基于所述第1检测部检测到所述第1粒子的第1信号的观察像；以及形成基于所述第2检测部检测到所述第2粒子的第2信号的观察像，所述控制部执行以下处理：取得由所述像形成部形成的观察像作为第1观察像，计算所取得的所述第1观察像中的第1区域的亮度，在所述第1区域的亮度与第1目标亮度不同的情况下，根据所述第1目标亮度来进行所述第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；以及取得由所述像形成部形成的观察像作为第2观察像，计算所取得的所述第2观察像中的第2区域的亮度，在所述第2区域的亮度与第2目标亮度不同的情况下，根据所述第2目标亮度来进行所述第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整，所述控制部在进行了所述第2亮度调整之后进行漂移校正，在该漂移校正中，根据基于进行了所述第2亮度调整后的所述第2检测部检测到所述第2粒子的第2信号的所述第2观察像来校正所述第1区域的位置，所述控制部在进行了所述漂移校正之后进行所述第1亮度调整，然后取得包含进行了所述漂移校正后的所述第1区域的所述第1观察像。

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