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龙图腾网恭喜埃频(上海)仪器科技有限公司申请的专利多通路式真空蒸发源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116479383B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310135208.3，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权多通路式真空蒸发源是由艾金虎设计研发完成，并于2020-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本多通路式真空蒸发源在说明书摘要公布了：本发明提供了一种多通路式真空蒸发源，所述多通路式真空蒸发源包括：多组独立蒸发通道，被配置为分别对镀膜对象提供蒸发操作；集成罩，被配置为将所述多组独立蒸发通道的顶端集成在一封闭空间内，所述多组独立蒸发通道通过其顶端将蒸发的靶材传送至所述镀膜对象；组合挡板，被配置为位于所述集成罩与所述镀膜对象之间，通过开启动作和关闭动作，使所述多组独立蒸发通道与所述镀膜对象之间连通或隔断；安装法兰，被配置为将所述多组独立蒸发通道与挡板驱动集成在一起；挡板驱动，被配置为控制并驱动所述组合挡板的开启动作和关闭动作。

本发明授权多通路式真空蒸发源在权利要求书中公布了：1.一种多通路式真空蒸发源，其特征在于，所述多通路式真空蒸发源包括：多组独立蒸发通道，被配置为分别对镀膜对象提供蒸发操作；集成罩，被配置为将所述多组独立蒸发通道的顶端集成在一封闭空间内，所述多组独立蒸发通道通过其顶端分别将不同的蒸发靶材传送至所述镀膜对象；组合挡板，被配置为位于所述集成罩与所述镀膜对象之间，通过开启动作和关闭动作，使所述多组独立蒸发通道分别与所述镀膜对象之间连通或隔断；挡板驱动，被配置为控制并驱动所述组合挡板的开启动作和关闭动作；安装法兰，被配置为将所述多组独立蒸发通道与所述挡板驱动集成在一起；所述组合挡板包括第一挡板及第二挡板，所述挡板驱动包括第一传动杆及第二传动杆，其中：所述第二传动杆为中空结构，所述第一传动杆包裹于所述第二传动杆之中；所述第一传动杆与所述第二传动杆位于集成罩的中心、集成在所述安装法兰；所述第一传动杆的一端连接所述第一挡板，另一端连接磁耦合驱动器，用于在磁耦合驱动器与所述第一挡板之间传送力矩；所述第二传动杆的一端连接所述第二挡板，另一端连接磁耦合驱动器，用于在磁耦合驱动器与所述第二挡板之间传送力矩；集成罩隔板放置在集成罩中间的圆柱空间，将圆柱空间隔成3等份，每一等份中放置一个灯丝组件，隔板底座承载于基座上，隔板底座上有呈120°角度的三条凹槽，用于将隔板卡在其中；铜模块及陶瓷模块用于固定灯丝和钼棒形成的灯丝组件；钼棒通过钎焊的方式固定在陶瓷模块上，陶瓷模块材质为陶瓷使得灯丝与地绝缘；铜模块材质为铜且与集成罩固定在一起，形成冷却闭合空间，坩埚和靶材位于该冷却闭合空间中，坩埚和靶材被加热后，辐射的热量被集成罩、隔板、铜模块和基座吸收，防止加热真空腔室中的其他零部件。

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