恭喜信越化学工业株式会社菅生道博获国家专利权
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龙图腾网恭喜信越化学工业株式会社申请的专利基板用临时粘接剂的清洗液、基板的清洗方法和支承体或基板的清洗方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113853423B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080036909.6,技术领域涉及:C11D1/62;该发明授权基板用临时粘接剂的清洗液、基板的清洗方法和支承体或基板的清洗方法是由菅生道博;田边正人;田上昭平设计研发完成,并于2020-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板用临时粘接剂的清洗液、基板的清洗方法和支承体或基板的清洗方法在说明书摘要公布了:基板用临时粘接剂的清洗液包含四丁基氟化铵、二甲基亚砜、和溶解度参数为8.0以上且10.0以下、具有杂原子的液态化合物。优选在四丁基氟化铵、二甲基亚砜和液态化合物的合计100质量%中以1质量%以上且15质量%以下的量含有四丁基氟化铵。另外,优选在四丁基氟化铵、二甲基亚砜和液态化合物的合计100质量%中以5质量%以上且30质量%以下的量含有二甲基亚砜。
本发明授权基板用临时粘接剂的清洗液、基板的清洗方法和支承体或基板的清洗方法在权利要求书中公布了:1.基板用临时粘接剂的清洗液,其包含:四丁基氟化铵;二甲基亚砜;和溶解度参数为8.0以上且10.0以下、具有杂原子的液态化合物,其中,所述液态化合物是选自醋酸正丁酯和丙二醇单甲基醚乙酸酯中的至少一种;在所述四丁基氟化铵、所述二甲基亚砜和所述液态化合物的合计100质量%中,以3质量%以上且15质量%以下的量含有所述四丁基氟化铵;在所述四丁基氟化铵、所述二甲基亚砜和所述液态化合物的合计100质量%中,以10质量%以上且30质量%以下的量含有所述二甲基亚砜。
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