恭喜国际商业机器公司青木丰广获国家专利权
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龙图腾网恭喜国际商业机器公司申请的专利防止材料注入的材料滴落获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113767457B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080032904.6,技术领域涉及:H01L21/60;该发明授权防止材料注入的材料滴落是由青木丰广;中村英司;久田隆史设计研发完成,并于2020-05-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本防止材料注入的材料滴落在说明书摘要公布了:公开了一种用于注入材料的注入设备。注入装置包括用于储存材料的罐。注入装置进一步包括头主体,该头主体具有用于接触基底的表面和开口部分,该开口部分在表面处开口以用于排出与罐流体连通的材料。注入装置进一步包括连接至开口部的构件,其中,构件允许气体流入和流出开口部。
本发明授权防止材料注入的材料滴落在权利要求书中公布了:1.一种用于注入材料的注入装置,所述装置包括:罐,用于储存材料;头主体,其具有用于与基底接触的表面和在所述表面处开口的开口部,所述开口部用于排出与所述罐流体连通的所述材料;以及至少一个构件,连接至所述开口部,所述至少一个构件允许气体流入和流出所述开口部,其中,所述至少一个构件包括第二罐,所述第二罐配备有用于打开和关闭所述第二罐与外部之间的通道的阀。
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