恭喜朗姆研究公司理查德·布兰克获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利用于衬底传送机械手自动校正的器具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113785387B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080018591.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权用于衬底传送机械手自动校正的器具是由理查德·布兰克;阿拉温德·阿勒万;贝赫纳姆·贝赫兹;彼得·塔拉德;马克·E·爱默生设计研发完成，并于2020-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于衬底传送机械手自动校正的器具在说明书摘要公布了：一种机械手校正系统包含校正器具，其被配置成安装在衬底处理室上。所述校正器具包含至少一个相机，所述至少一个相机被设置成捕捉包含测试衬底的外缘和围绕所述测试衬底的边缘环的图像。控制器被配置成接收所捕捉的所述图像，分析所捕捉的所述图像以测量所述测试衬底的所述外缘与所述边缘环之间的距离，基于所测量出的所述距离而计算所述测试衬底的中心，并且基于所计算出的所述测试衬底的中心而校正机械手，所述机械手被配置成将衬底往返于所述衬底处理室传送。
本发明授权用于衬底传送机械手自动校正的器具在权利要求书中公布了：1.一种机械手校正系统，其包含：校正器具，其被配置成安装在衬底处理室上，其中所述校正器具包含至少一个相机，所述至少一个相机被设置成捕捉包含测试衬底的外缘和围绕所述测试衬底的边缘环的图像；以及控制器，其被配置成接收所捕捉的所述图像，分析所捕捉的所述图像以测量所述测试衬底的所述外缘与所述边缘环之间的距离，基于所测量出的所述距离而计算所述测试衬底的中心，并且基于所计算出的所述测试衬底的中心而校正机械手，所述机械手被配置成将衬底往返于所述衬底处理室传送。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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