恭喜源卓微纳科技(苏州)股份有限公司高安获国家专利权
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龙图腾网恭喜源卓微纳科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种曝光图形的平滑处理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119644682B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510177335.9,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种曝光图形的平滑处理方法是由高安;王承茂;汪晶;黄小刚;张雷设计研发完成,并于2025-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光图形的平滑处理方法在说明书摘要公布了:一种曝光图形的平滑处理方法,设定短边阈值Leps、OBB包围盒短边阈值Oeps;根据初始曝光图形的信息以及设定的短边阈值Leps获得连续短边集合;对每个连续短边集合进行拟合获得对应于连续短边集合的OBB包围盒,将OBB包围盒的短边长度值与OBB包围盒短边阈值Oeps进行比较,筛选出OBB包围盒短边长度值小于等于包围盒短边阈值Oeps的包围盒,作为继续平滑处理的待平滑处理OBB包围盒;获得待平滑处理OBB包围盒主轴两端的顶点,连接待平滑处理OBB包围盒主轴两端的顶点,主轴两端顶点连接线构成平滑图形轮廓线,采用平滑图形轮廓线替换连续短边集合内的连续短边。剔除了冗余的噪点,提高后续曝光图形的处理速度。
本发明授权一种曝光图形的平滑处理方法在权利要求书中公布了:1.一种曝光图形的平滑处理方法,其特征在于:S1.设定短边阈值Leps和OBB包围盒短边阈值Oeps;S2.根据初始曝光图形的信息以及设定的短边阈值Leps获得连续短边集合,所述连续短边集合包括不少于两个位置连续的长度小于等于短边阈值Leps的图形轮廓线;S3.对每个连续短边集合进行拟合获得对应于连续短边集合的OBB包围盒的数据信息,将OBB包围盒的短边长度值与OBB包围盒短边阈值Oeps进行比较,筛选出OBB包围盒短边长度值小于等于包围盒短边阈值Oeps的包围盒,作为继续平滑处理的待平滑处理OBB包围盒;S4、基于待平滑处理OBB包围盒的数据信息,获得待平滑处理OBB包围盒主轴两端的顶点,连接待平滑处理OBB包围盒主轴两端的顶点,主轴两端顶点连接线构成平滑图形轮廓线,采用平滑图形轮廓线替换连续短边集合内的图形轮廓线。
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