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龙图腾网恭喜北京嘉海鼎盛科技有限公司申请的专利一种半导体检测设备智能标定方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119619175B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510152388.5，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种半导体检测设备智能标定方法及系统是由张特;张蕊;张家豹设计研发完成，并于2025-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体检测设备智能标定方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体检测技术领域，具体涉及一种半导体检测设备智能标定方法及系统，包括：分析不同半导体设备维度类型之间晶圆检测数据的相关稳定情况，得到局部精度控制需求度；基于局部精度控制需求度，综合分析同一晶圆检测数据在所有半导体晶圆整体内的有效信息含量，得到半导体精度需求度；分析每个半导体设备维度类型下晶圆检测数据整体的变化情况，结合晶圆检测数据的半导体精度需求度以及晶圆检测数据的信噪比，得到半导体控制优选程度；综合半导体控制优选程度，自适应调整晶圆检测数据，进行半导体检测设备的智能标定。本发明提高了半导体检测设备检测晶圆时检测结果的准确性，使半导体检测设备的标定过程更加智能。

本发明授权一种半导体检测设备智能标定方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体检测设备智能标定方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：在每个半导体设备维度中，获取每个半导体晶圆在预设时间段内的若干晶圆检测数据；对于一个半导体晶圆，获得不同半导体设备维度类型之间晶圆检测数据的相关度，分析所述相关度的稳定情况，得到每个晶圆检测数据的局部精度控制需求度；基于局部精度控制需求度，综合分析同一晶圆检测数据在所有半导体晶圆整体内的有效信息含量，得到每个晶圆检测数据的半导体精度需求度，包括：对于任意一个晶圆检测数据，将晶圆检测数据在所有半导体晶圆中所有信噪比数据的方差，作为信噪含量方差；将晶圆检测数据在所有半导体晶圆中的局部精度控制需求度的均值，作为晶圆综合局部精度控制需求度均值；将晶圆综合局部精度控制需求度均值与信噪含量方差之间比值的归一化值，作为晶圆检测数据的半导体精度需求度；分析每个半导体设备维度类型下晶圆检测数据整体的变化情况，结合晶圆检测数据的半导体精度需求度，得到每个半导体设备维度类型的半导体能源有效消耗度，包括：将第个半导体设备维度类型在半导体晶圆中任意两个相邻晶圆检测数据之间差值的 绝对值，作为局部晶圆检测数据变动值，计算第个半导体设备维度类型的半导体能源有效 消耗度包括： 式中，表示第个半导体设备维度类型的半导体能源有效消耗度；表示所有半导体 晶圆的数量；表示第个半导体设备维度类型在第个半导体晶圆中所有晶圆检测数据 的半导体精度需求度均值；表示第个半导体设备维度类型在第个半导体晶圆中所 有局部晶圆检测数据变动值数量；表示第个半导体设备维度类型在第个半导体 晶圆中第个局部晶圆检测数据变动值； 根据半导体能源有效消耗度和每个半导体设备维度类型下晶圆检测数据的信噪比，得到每个半导体设备维度类型的半导体控制优选程度；综合每个半导体设备维度类型的半导体控制优选程度，自适应调整晶圆检测数据，进行半导体检测设备的智能标定。

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