恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所郑钟铭获国家专利权
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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种内反射式浸没光栅及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119395799B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510016134.0,技术领域涉及:G02B5/18;该发明授权一种内反射式浸没光栅及其制作方法是由郑钟铭;李文昊;姜岩秀;吉日嘎兰图;于硕设计研发完成,并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种内反射式浸没光栅及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光栅制造技术领域,尤其涉及一种内反射式浸没光栅及其制作方法,内反射式浸没光栅的制作方法包括:在第一浸没介质体的第一光栅面上形成第一初始固化层,以及在第二浸没介质体的第二光栅面上形成第二初始固化层;利用压印面对第一初始固化层进行对准压印,以形成具有光栅的第一固化层;在第一固化层远离第一浸没介质体的表面形成高反射膜;将第二浸没介质体形成有第二初始固化层的一侧对准第一固化层具有高反射膜的一侧并进行压印,以形成连接第二浸没介质体和高反射膜的第二固化层;第一浸没介质体和第二浸没介质体中的一者为棱镜,另一者为平面基板。本发明至少有利于降低内反射式浸没光栅的制作难度且实现对光栅的保护。
本发明授权一种内反射式浸没光栅及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种内反射式浸没光栅制作方法,其特征在于,包括:提供光栅母版,所述光栅母版的压印面具有用于形成光栅的微结构;提供第一浸没介质体和第二浸没介质体,在所述第一浸没介质体的第一光栅面上形成第一初始固化层,以及在所述第二浸没介质体的第二光栅面上形成第二初始固化层;利用所述压印面对所述第一初始固化层进行对准压印,以形成具有光栅的第一固化层;在所述第一固化层远离所述第一浸没介质体的表面形成高反射膜;将所述第二浸没介质体形成有所述第二初始固化层的一侧对准所述第一固化层具有所述高反射膜的一侧并进行压印,以形成连接所述第二浸没介质体和所述高反射膜的第二固化层;所述第一浸没介质体和所述第二浸没介质体中的一者为棱镜,另一者为平面基板;形成所述第一固化层的步骤包括:利用所述压印面对所述第一初始固化层远离所述第一浸没介质体的一侧进行对准压印,以在所述第一初始固化层上形成所述光栅,去除所述光栅母版前对所述第一初始固化层进行固化操作,以形成具有所述光栅的所述第一固化层,再去除所述光栅母版;形成所述第二固化层的步骤包括:将所述第二浸没介质体形成有所述第二初始固化层的一侧对准所述第一固化层具有所述高反射膜的一侧并进行压印,完成所述压印后进行固化操作,以使所述第二初始固化层转换为所述第二固化层;第一初始固化层的材料或者第二初始固化层的材料包括环氧树脂和折射率匹配液,具有折射率匹配液的初始固化层为与棱镜接触的初始固化层。
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