恭喜上海朋熙半导体有限公司李鹏获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海朋熙半导体有限公司申请的专利一种模拟半导体设备和EAP系统的集成测试方法及相关设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119377129B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411976822.3,技术领域涉及:G06F11/3668;该发明授权一种模拟半导体设备和EAP系统的集成测试方法及相关设备是由李鹏;刘源;李凯林设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种模拟半导体设备和EAP系统的集成测试方法及相关设备在说明书摘要公布了:本发明提供一种模拟半导体设备和EAP系统的集成测试方法及相关设备,通过对设备操作手册进行关键参数的提取,并基于提取的关键参数设定不同测试阶段的测试脚本,所述关键参数为半导体工艺流程所需的参数;测试系统利用特性测试脚本对测试设备进行特性测试,并生成对应的特性测试结果;基于工艺流程测试脚本,在测试系统中模拟测试设备的工艺流程,并在模拟工艺流程的同时,通过CIM服务模拟接口对EAP系统进行集成测试,EAP系统根据EAP配置文件和集成测试脚本模拟包含该测试设备的生产线的工作流程,并验证EAP系统对工作流程的控制和响应是否准确。本发明设计一种基于测试标准流程的自动化测试,提高了测试效率与准确性。
本发明授权一种模拟半导体设备和EAP系统的集成测试方法及相关设备在权利要求书中公布了:1.一种模拟半导体设备和EAP系统的集成测试方法,其特征在于,包括集成有半导体设备模拟器的测试系统,所述方法包括:对不同文档类别的设备操作手册进行关键参数的提取,并基于提取的关键参数设定不同测试阶段的测试脚本,所述关键参数为半导体工艺流程所需的参数,所述不同测试阶段的测试脚本包括:特性测试脚本、工艺流程测试脚本和集成测试脚本;所述测试系统利用所述特性测试脚本对测试设备进行特性测试,并生成对应的特性测试结果,所述特性测试结果优化了工艺流程模拟测试和EAP系统的配置;基于所述工艺流程测试脚本,在所述测试系统中模拟所述测试设备的工艺流程,并在模拟工艺流程的同时,通过CIM服务模拟接口对EAP系统进行集成测试,所述EAP系统根据EAP配置文件和所述集成测试脚本模拟包含所述测试设备的生产线的工作流程,并验证EAP系统对所述工作流程的控制和响应是否准确。
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