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龙图腾网恭喜中国科学院理化技术研究所申请的专利一种自动化制备微纳复合结构芯片流水线获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542193B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411691100.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种自动化制备微纳复合结构芯片流水线是由孟靖昕;王树涛;包寒;付有设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自动化制备微纳复合结构芯片流水线在说明书摘要公布了：本发明属于芯片制备设备技术领域，具体的说是一种自动化制备微纳复合结构芯片流水线，包括反应设备，且反应设备内安装带有夹持组件的转移装置、控制模块和视觉模块；所述反应设备包括反应器，所述反应器均匀安装于反应设备顶部；通过湿法清洗和干法清洁之间的配合，增加芯片清洁措施的同时，提高清洁效果；另外，在芯片湿法清洗完成上升过程中，还会再次经历上述干法清洁，然后，通过喷气组件将芯片上的清洗溶液吹走，并利用清洗溶液被吹走的效果，再次对芯片进行清洁，提高清洁效果；而且，喷漆组件喷出设定温度的清洗气体，还能够加快芯片的干燥和清洗溶液的挥发，减少清洗所花费的时间，提高芯片制备的效率。

本发明授权一种自动化制备微纳复合结构芯片流水线在权利要求书中公布了：1.一种自动化制备微纳复合结构芯片流水线，包括反应设备1，且反应设备1内安装带有夹持组件的转移装置11、控制模块12和视觉模块13；其特征在于，所述反应设备1包括：反应器14，所述反应器14均匀安装于反应设备1顶部，且反应器14内存储有反应溶液；所述反应设备1顶部安装有清洗容器15，且清洗容器15利用超声波清洗法对芯片湿法清洗；所述转移装置11底部夹持有框架结构状的反应篮16，且反应篮16内均匀安装有芯片，芯片为竖直放置；所述清洗容器15侧壁顶部设有支撑板2，且支撑板2上均匀滑动连接有喷气板21，喷气板21与支撑板2上所设的电动伸缩装置22连接；所述喷气板21上安装有喷气组件23，喷气组件23通过气相对芯片干法清洁；挤压块3，所述挤压块3设于支撑板2一侧，且挤压块3截面为三角形；所述反应篮16中设有挤压杆31，且挤压杆31通过弹簧滑动连接于反应篮16内，所述反应篮16内均匀设有立杆32，且相邻立杆32之间设有安装框33，芯片安装于安装框33内；所述安装框33的两侧均设有转轴34，且转轴34一端转动于立杆32上，多个转轴34中靠近挤压杆31的一个穿过反应篮16内壁与挤压杆31啮合。

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