恭喜南京卓胜自动化设备有限公司蒋旭东获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京卓胜自动化设备有限公司申请的专利单道硅片校正机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119252793B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411382089.2,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权单道硅片校正机构是由蒋旭东设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本单道硅片校正机构在说明书摘要公布了:本发明涉及单道硅片校正机构,包括固定板,所述固定板上设置有动力组件和校正组件,所述校正组件的底部与动力组件连接;所述动力组件包括滑动块、伺服电机、皮带、皮带轮一及皮带轮二,所述固定板的一端设置有伺服电机,所述伺服电机的动力输出端设置有皮带轮二,所述固定板的另一端的内侧滑动连接着滑动块,所述滑动块的上侧转动连接着皮带轮一,所述皮带轮一和皮带轮二之间连接着皮带,所述皮带套在皮带轮一及皮带轮二的外侧。通过边梁和抵接边板的使用,可快速滑动块和侧边梁的锁定,使得滑动块可以活动,使皮带松弛,动力组件无法为校正组件提供压力使硅片得到锁紧,进而极为快捷的解除硅片被锁紧的状态。
本发明授权单道硅片校正机构在权利要求书中公布了:1.单道硅片校正机构,其特征在于:包括固定板(1),所述固定板(1)上设置有动力组件和校正组件,所述校正组件的底部与动力组件连接;所述动力组件包括滑动块(2),所述固定板(1)的一端设置有伺服电机(9),所述伺服电机(9)的动力输出端设置有皮带轮二(6),所述固定板(1)的另一端的内侧滑动连接着滑动块(2),所述滑动块(2)的上侧转动连接着皮带轮一(5),所述皮带轮一(5)和皮带轮二(6)之间连接着皮带(10);所述校正组件由两组调整单元构成,所述调整单元包括底盘(17),每个所述底盘(17)的底部设置有两个连动板(8),皮带(10)从底盘(17)下侧的两个连动板(8)之间通过,每个底盘(17)上都有一个连动板(8)通过夹紧块(18)与皮带(10)的一边固定连接,所述底盘(17)的上侧通过竖直梁(12)与固定架(13)连接,所述固定架(13)设置于调整座(14)的下侧;所述滑动块(2)连接着张紧调节单元,所述张紧调节单元安设在固定板(1)的一端;所述张紧调节单元包括侧边梁(3)、连接杆一(4)、连接杆二(21)、空气筒(22)和内筒(35),所述固定板(1)上设置有两个空气筒(22),所述滑动块(2)通过连接杆一(4)连接有侧边梁(3),所述空气筒(22)内滑动连接有内筒(35);所述张紧调节单元还包括凹槽(23)、连接槽(24)、卡接沟(25)、锁定棒(27)、边梁(29)、抵接边板(30)、锤击板(31)和边轮(32),所述滑动块(2)的两侧分别开设有一个凹槽(23),所述滑动块(2)的中部开设有连接槽(24),所述连接槽(24)两个相对的竖直面都分别开设有数个卡接沟(25),所述卡接沟(25)连通着凹槽(23)和连接槽(24),所述连接杆一(4)伸入连接槽(24),所述凹槽(23)内旋接着边梁(29),所述连接杆一(4)上开设有锁定沟(28),所述锁定沟(28)内卡接着锁定棒(27),所述锁定棒(27)的两端通过卡接沟(25)伸入连接槽(24)两侧壁的凹槽(23);所述边梁(29)靠近凹槽(23)的一侧设置有两个的抵接边板(30),所述锁定棒(27)的两端分别转动连接有一个边轮(32),所述边轮(32)伸入两个抵接边板(30)之间;下边的所述抵接边板(30)水平设置,上侧的抵接边板(30)倾斜设置,所述边梁(29)远离滑动块(2)的一侧设置有锤击板(31),两个抵接边板(30)远离锤击板(31)的一端比靠近锤击板(31)的一端间距更小。
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