恭喜青岛金汇源电子有限公司程文娟获国家专利权
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龙图腾网恭喜青岛金汇源电子有限公司申请的专利一种硅片清洗干燥装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222856165U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422196301.8,技术领域涉及:B08B3/12;该实用新型一种硅片清洗干燥装置是由程文娟;李中亮;李德鹏设计研发完成,并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片清洗干燥装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种硅片清洗干燥装置,涉及硅片清洗技术领域,包括超声波清洗池,所述超声波清洗池两侧分别设有第一输送带和第二输送带,所述第一输送带上放置有硅片固定架,所述第二输送带的行进方向设有烘干舱,所述超声波清洗池的上方设有转运机构。本实用新型设计方案通过超声波清洗池两侧分别设有第一输送带和第二输送带的设计,转运机构将硅片固定架转运至超声波清洗池内进行清洗,清洗完成后转运机构将硅片固定架转运至第二输送带上,第二输送带将硅片输送至烘干舱内进行烘干,同时转运机构复位进行下一组硅片的清洗作业,因此在烘干时不会影响下一组硅片的清洗作业,进而提高设备的工作效率。
本实用新型一种硅片清洗干燥装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片清洗干燥装置,其特征在于:包括超声波清洗池1,所述超声波清洗池1两侧分别设有第一输送带2和第二输送带3,所述第一输送带2上放置有硅片固定架4,所述第二输送带3的行进方向设有烘干舱5,烘干舱5用于对在第二输送带3上运输的硅片进行烘干,所述超声波清洗池1的上方设有转运机构,转运机构用于对硅片固定架4进行搬运。
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