买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种冷却半导体设备上清洁系统的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118180063B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410490614.6，技术领域涉及：B08B9/032；该发明授权一种冷却半导体设备上清洁系统的方法是由纪海瑞;徐家庆;唐丽娜;王正国设计研发完成，并于2024-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种冷却半导体设备上清洁系统的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种冷却半导体设备上清洁系统的方法，涉及半导体设备冷却技术领域；包括：冷却水由进水供应块流向清洁系统反应发射器内部水路，从内部水路流出后流经三通接头进入三通切换阀；当清洁系统运行时打开三通切换阀的第一端和第三端，关闭第二端，三通接头内冷却水流入冷却水管、冷却块，进入三通切换阀的第一端，通过三通切换阀的第三端进入回水供应块；当清洁系统未运行时打开三通切换阀的第二端和第三端，关闭第一端，三通接头内冷却水流经三通切换阀进入回水供应块。本方法降低气体传输管路、清洁系统反应发射器的工作温度，延长其使用寿命，可有效节约循环冷却水的使用。

本发明授权一种冷却半导体设备上清洁系统的方法在权利要求书中公布了：1.一种冷却半导体设备上清洁系统的方法，其特征在于，包括：冷却水由进水供应块流向清洁系统反应发射器内部水路，从内部水路流出后流经三通接头进入三通切换阀；当清洁系统运行时打开三通切换阀的第一端和第三端，关闭第二端，三通接头内冷却水流入冷却水管、第一尺寸管路下冷却包块、第一尺寸管路上冷却包块、第二尺寸管路左半边包裹冷却块、第二尺寸管路右半边包裹冷却块，进入三通切换阀的第一端，通过三通切换阀的第三端进入回水供应块，形成冷却水循环，达到冷却气体传输管路和清洁系统反应发射器的效果；当清洁系统未运行时打开三通切换阀的第二端和第三端，关闭第一端，三通接头内冷却水流经三通切换阀进入回水供应块，形成冷却水循环，达到冷却清洁系统反应发射器的效果；在回水供应块与三通切换阀之间设有水用数字式流量开关，该水用数字式流量开关将采集的温度信号与水流量信号传输至清洁系统控制器；水用数字式流量开关将循环水路温度信号传输至清洁系统控制器，当温度超过阈值时，清洁系统控制器发出报警信号，停止运行清洁动作；水用数字式流量开关还将循环水路水流量信号传输至清洁系统控制器，当水流量低于阈值时，清洁系统控制器也会发出报警信号，停止运行清洁动作；所述清洁系统包括信号选择器，与设备端控制器相连，用于传递工艺腔体的清洁参数或管道的清洁参数信号；所述清洁参数均包括发射功率、发射频率、发射速度及工作时间；清洁系统控制器，与信号选择器相连，当收到氮气进气气动隔膜阀、氮气出气气动隔膜阀打开信号时控制信号选择器接收设备端控制器的信号；清洁系统反应发射器，与信号选择器相连，用于将清洁气体以高压喷射方式送入待清洁管路内；当清洁系统反应发射器发生故障时反馈至清洁系统控制器；设备端反应发射器，与信号选择器相连，用于将清洁气体以高压喷射方式送入待清洁工艺腔体内；当设备端反应发射器发生故障时反馈至设备端控制器；阀门开关控制器，与清洁系统控制器相连，用于执行阀门开启与关闭动作；第一气动隔膜阀，分别与阀门开关控制器、气柜内的清洁气体管路相连，用于控制清洁气体是否进入清洁系统反应发射器，当第一气动隔膜阀打开时，第二气动隔膜阀是关闭状态；第二气动隔膜阀，分别与阀门开关控制器、气柜内的清洁气体管路相连，用于控制清洁气体是否进入设备端反应发射器，当第二气动隔膜阀打开时，第一气动隔膜阀是关闭状态。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人大连皓宇电子科技有限公司，其通讯地址为：116602 辽宁省大连市中国(辽宁)自由贸易试验区大连保税区海兴街60-2号1571室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。