通快许廷格有限公司W·加耶夫斯基获国家专利权
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龙图腾网获悉通快许廷格有限公司申请的专利等离子体系统及等离子体系统电路获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222869106U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420677697.5,技术领域涉及:H05H1/24;该实用新型等离子体系统及等离子体系统电路是由W·加耶夫斯基设计研发完成,并于2024-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体系统及等离子体系统电路在说明书摘要公布了:本申请提供了一种等离子体系统及等离子体系统电路,包括等离子体处理室;第一电源,包括第一输出端和第二输出端,所述第一输出端与所述等离子体处理室的电极电连接,所述第二输出端与所述等离子体处理室的室壁连接;第二电源,包括正极输出端和负极输出端,所述正极输出端电连接到所述等离子体处理室的基板,所述负极输出端电连接到所述等离子体处理室的室壁;所述等离子体处理室的室壁设置有接地极与大地电连接。通过本申请提供的方案,能够有效实现在等离子工艺中抑制和处理电弧的效果。
本实用新型等离子体系统及等离子体系统电路在权利要求书中公布了:1.一种等离子体系统,其特征在于,所述等离子体系统1包括:等离子体处理室2,所述等离子体处理室包括室壁3和电极5,所述室壁3连接到电势,所述电势包括接地极9;第一电源4,所述电源设计用于提供高压高功率脉冲;所述电极5连接到第一电源4。
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