芯恩(青岛)集成电路有限公司刘俊获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利用于气相沉积设备的检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222865857U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420488117.8，技术领域涉及：G01B11/06；该实用新型用于气相沉积设备的检测装置是由刘俊;刘晓亮;邢超;王伟;赵烁设计研发完成，并于2024-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于气相沉积设备的检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于气相沉积设备的检测装置，包括激光发射器、激光接收器和处理单元；激光发射器和激光接收器分别设置于盖体的两对称侧壁，且穹顶罩的监测区域位于激光发射器和激光接收器之间，以使激光发射器发射的激光穿过监测区域；激光接收器和处理单元连接，激光接收器用于接收激光并向处理单元发送激光透过量信息，处理单元用于根据激光透过量信息得到监测区域的副产物厚度。本实用新型通过监测穹顶罩覆着的副产物厚度，使得能及时清洗穹顶罩或刻蚀去除穹顶罩上覆着的副产物，避免了穹顶罩上积累的副产物掉落在晶圆表面而影响到晶圆质量和沉积反应腔室的温度，而且有利于延长穹顶罩的使用寿命，降低投入成本。
本实用新型用于气相沉积设备的检测装置在权利要求书中公布了：1.一种用于气相沉积设备的检测装置，其特征在于，所述气相沉积设备包括盖体、以及设置于所述盖体的收容腔内的承载台和穹顶罩，所述穹顶罩与所述承载台围设构成沉积反应腔室；所述检测装置包括激光发射器、激光接收器和处理单元；所述激光发射器和所述激光接收器分别设置于所述盖体的两对称侧壁，且所述穹顶罩的监测区域位于所述激光发射器和所述激光接收器之间，以使所述激光发射器发射的激光穿过所述监测区域；所述激光接收器和所述处理单元连接，所述激光接收器用于接收所述激光并向所述处理单元发送激光透过量信息，所述处理单元用于根据所述激光透过量信息得到所述监测区域的副产物厚度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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