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涌淳半导体(无锡)有限公司邵秋新获国家专利权

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龙图腾网获悉涌淳半导体(无锡)有限公司申请的专利一种线宽扫描电镜样品台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222867618U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420433602.5,技术领域涉及:H01J37/20;该实用新型一种线宽扫描电镜样品台是由邵秋新;张同雷;孔星设计研发完成,并于2024-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种线宽扫描电镜样品台在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种线宽扫描电镜样品台,涉及样品台技术领域。本实用新型包括样品台本体,所述样品台本体的内腔中固定安装有调整组件,所述调整组件的中部固定安装有定位组件,所述定位组件轴心处且位于所述样品台本体顶部设置有电路板。本实用新型通过驱动定位组件四角相互移动靠近来使得定位组件将其中轴线上的电路板进行同步定位,以此防止线宽扫描电镜工作时工作期间由于线宽扫描电镜的振动而错位,进而造成电镜对电路板扫描的不准确的问题,以及避免了因无法将电路板限位,而造成电路板相对于样品台之间的位置发生变化,进而导致电镜对电路板的扫描产生误差的问题。

本实用新型一种线宽扫描电镜样品台在权利要求书中公布了:1.一种线宽扫描电镜样品台,包括样品台本体(1),其特征在于:所述样品台本体(1)的内腔中固定安装有调整组件(2),所述调整组件(2)的中部固定安装有定位组件(3),所述定位组件(3)轴心处且位于所述样品台本体(1)顶部设置有电路板(4);所述调整组件(2)包括两个支撑架(201),所述两个支撑架(201)分别固定安装在样品台本体(1)内腔中,两个所述支撑架(201)分别固定安装有同步轮(202),两个所述同步轮(202)圆周面上转动安装有同步带(203),两个所述同步轮(202)其中一个固定安装有调整杆(204),所述调整杆(204)的另一端固定安装有调整块(205);所述定位组件(3)包括四个定位块(301),所述定位块(301)滑动安装在同步带(203)上,四个所述定位块(301)相互靠近的一端转动安装有转动杆(302),四个所述转动杆(302)分别转动安装在转动块(303)上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人涌淳半导体(无锡)有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区城南路228号306室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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