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龙图腾网获悉西安航空发动机微电子有限公司申请的专利一种半导体工件制作用检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118099017B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410225269.3，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种半导体工件制作用检测系统及方法是由陆冀成;陈明设计研发完成，并于2024-02-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体工件制作用检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体领域，且公开了一种半导体工件制作用检测系统及方法，包括：图像采集模块，用于部署在制作产线上，获取原料制备前、制备中和产品制备完毕的图像数据，依据不同产品建立对应标准图像参考系，以标准图像参考系内数据实时比对当前获取图像数据，判断是否存在异常；工况采集模块，用于获取各工件制作设备的运行参数，按照预设采集周期，定期接收并转化设备工况参数，判断是否存在异常；通过实时图像检测和设备检测的方式，在一方检测过问题后，迅速调用另一方进行验证，以提升检测时的准确性，防止对异常的误判，并且当相同问题出现时，可在数据库内进行索引，迅速关联合适的解决方案，进而缓解算力压力。

本发明授权一种半导体工件制作用检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体工件制作用检测系统，其特征在于，包括：图像采集模块（1），用于部署在制作产线上，获取原料制备前、制备中和产品制备完毕的图像数据，依据不同产品建立对应标准图像参考系，以标准图像参考系内数据实时比对当前获取图像数据，判断是否存在异常；工况采集模块（2），用于获取各工件制作设备的运行参数，按照预设采集周期，定期接收并转化设备工况参数，判断是否存在异常；属性确定模块（3），用于获取异常判断所指向的异常参数，并进行对应归类，并下发归类标签，上传至数据库内；问题分析模块（4），用于依据异常参数进行分析，输出检测报告至管理端，自动分析解决方案，并接收和上传人工介入解决方案，并记录确认对异常参数有效解决的方案数据，进行关键特征提取后，上传至数据库；同类索引模块（5），用于在接收到异常参数时，获取当前异常参数所指向的归类标签，提取该数据的关键特征，在该归类标签内，通过其关键特征进行索引，匹配同类异常参数指向的有效方案数据；汇总评估模块（6），用于获取所有同类索引模块（5）抓取的有效方案数据，依据当前异常参数的原始数据进行评估，将有效性最高的方案数据进行提取并显示；共享模块（7），用于提供共享方案数据平台，在通过身份验证后，输入异常参数，提供查询交互服务；配网模块（8），用于提供物联网支持，为各用网模块提供网络权限；所述属性确定模块（3）获取的图像数据，通过畸变矫正处理表达成像模型，其计算公式为： ；式中，为理想成像二维像素坐标值，为实际成像二维像素坐标值，K为径向扭曲系数，当K0时为正畸变，物体图像向内凹陷；当K0时为负畸变，物体图像往外凸出；所述属性确定模块（3）将数据进行归类后，需确认同类索引模块（5）是否存在反馈数据，若不存在反馈数据，则将归类数据打包递交至问题分析模块（4），反之，则暂时中止数据传输至问题分析模块（4）；所述汇总评估模块（6）的评估结果通过损失函数进行计算，以计算结果衡量目标检测模型的定位精度，其评估结果的计算公式为： ；式中，R代表评估结果，n代表样本的个数，为第i个样本的预测值，为第i个样本的真实值。

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