恭喜苏州芯睿科技有限公司时磊获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州芯睿科技有限公司申请的专利一种晶圆翻转扫片机构和晶圆翻转扫片移动的机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222867653U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420244196.8，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆翻转扫片机构和晶圆翻转扫片移动的机构是由时磊;张羽成设计研发完成，并于2024-02-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆翻转扫片机构和晶圆翻转扫片移动的机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆翻转扫片机构和晶圆翻转扫片移动的机构，属于半导体设备技术领域，其包括旋转装置、扫片装置；所述旋转装置通过转接法兰和吸板安装板与扫片装置连接。现有技术中，由于扫片组件和翻转组件分离开，不仅会出现系统误差，同时需要分别吸附晶圆材料两面，增大了污染的概率，两者均会降低产品的良率。该实用新型简化了晶圆等物料运输和反转组件之间的交接过程，从而避免了因交接产生的系统误差，不仅提高作业效率，同时提升产品良率，因此具有明显的优点。
本实用新型一种晶圆翻转扫片机构和晶圆翻转扫片移动的机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转扫片机构，其特征在于,包括：旋转装置，所述旋转装置包括旋转器、护罩、感应组件，其中，所述旋转器通过连接板连接在所述护罩内，所述感应组件通过安装支架固定在所述连接板上；扫片装置，所述扫片装置包括晶圆吸板、吸板固定组件，其中，所述吸板固定组件包括吸板安装板、转接法兰、气管终端接头；所述晶圆吸板固定在所述吸板安装板上，所述吸板安装板连接所述转接法兰；所述气管终端接头穿过所述转接法兰的中孔和所述吸板安装板上气孔连接；所述旋转装置通过所述转接法兰和所述吸板安装板与扫片装置连接；所述连接板是上安装板、下安装板、后安装板、前安装板通过固定件组成的方形框状结构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯睿科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区杏林街78号新兴工业坊4号厂房1楼2楼A单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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