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龙图腾网恭喜安徽高芯众科半导体有限公司申请的专利一种下部电极再生涂层研磨装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116922257B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311129165.4，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权一种下部电极再生涂层研磨装置及其方法是由黄辉;沈盛虎;刘洪宇设计研发完成，并于2023-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种下部电极再生涂层研磨装置及其方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种下部电极再生涂层研磨装置及其方法，一种下部电极再生涂层研磨装置，包括工作台以及安装在工作台上的承托部件，工作台的顶部开设有两个承托槽，两个承托槽位于下部电极的两侧，承托部件包括两个分别转动安装在承托槽内底面上的承托螺杆；两个承托槽的内底面上均固定连接有承托导杆；承托螺杆与承托导杆上套设有用于承托下部电极的承托板，承托螺杆与承托板螺纹连接。一种下部电极再生涂层研磨方法，包括以下步骤：S1、首先启动电机，电机带动承托板上升，当承托板移动至承托螺杆的顶部时，清理板对工作台上的铝屑与杂质进行清理。本申请改善了工作人员的操作过程较为繁琐的问题。

本发明授权一种下部电极再生涂层研磨装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种下部电极再生涂层研磨装置，包括工作台1以及安装在工作台1上的承托部件2，其特征在于：所述工作台1的顶部开设有两个承托槽11，两个所述承托槽11位于下部电极的两侧，所述承托部件2包括两个分别转动安装在承托槽11内底面上的承托螺杆21；两个所述承托槽11的内底面上均固定连接有承托导杆22，所述承托螺杆21与承托导杆22相互平行；所述承托螺杆21与承托导杆22上套设有用于承托下部电极的承托板23，所述承托螺杆21与承托板23螺纹连接，所述承托板23能够移动至承托槽11中；两个所述承托槽11的内底面上均固定连接有电机24，所述电机24的输出轴上固定连接有第一齿轮241，所述承托螺杆21上固定连接有与第一齿轮241啮合的第二齿轮211；所述工作台1的顶部开设有相互贯通的安装槽12与放置槽13，所述工作台1上安装有清理部件3，所述清理部件3包括转动安装在安装槽12内壁上的往复螺杆31、套设在往复螺杆31上的移动块32以及滑动安装在移动块32上的清理板33；所述往复螺杆31与移动块32螺纹连接，所述移动块32的侧壁与安装槽12的内壁贴合，所述清理板33放置在放置槽13中，所述清理板33能够移动至放置槽13的外侧，所述清理板33能够与工作台1的顶部和下部电极的底部接触；所述移动块32上安装有与清理板33连接的弹性部件4；所述工作台1上安装有传动部件5，所述承托螺杆21能够通过传动部件5驱动往复螺杆31进行转动，所述传动部件5包括转动安装在承托槽11内底面上的第一传动杆51、转动安装在安装槽12上的第二传动杆52以及套设在第一传动杆51与第二传动杆52上的传动带53；所述承托螺杆21上套设有第三齿轮54，所述第三齿轮54与承托板23转动连接，所述第三齿轮54的内壁上固定连接有限位块541，所述承托螺杆21的周面上开设有供限位块541滑动的限位槽212，所述承托螺杆21的顶部设置有光滑段；所述第一传动杆51上固定连接有第四齿轮55，所述承托板23移动至所述承托螺杆21上的光滑段时，所述第三齿轮54与第四齿轮55啮合；所述第二传动杆52上固定连接有蜗杆56，所述往复螺杆31上固定连接有与蜗杆56啮合的蜗轮57。

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