恭喜万华化学集团股份有限公司周霖获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜万华化学集团股份有限公司申请的专利一种用于硅晶圆的减薄装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115847197B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211695679.1，技术领域涉及：B24B1/00；该发明授权一种用于硅晶圆的减薄装置和方法是由周霖;宗芳;毛智斌;衣容琪;李博;冯帆设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于硅晶圆的减薄装置和方法在说明书摘要公布了：本申请提出了一种用于硅晶圆的减薄装置和方法，用于硅晶圆的减薄装置包括磨牙加载架，所述磨牙加载架呈长杆状，并用于围绕垂直穿过硅晶圆的圆心的旋转轴进行旋转；设置在所述磨牙加载架的下壁面上的磨牙，其中，所述磨牙加载架构造为沿着硅晶圆的直径方向远离或者靠近所述旋转轴以调节位置，该用于硅晶圆的减薄装置位置设置到位后，只绕固定的旋转轴进行旋转运动，直至到研磨深度，操作过程简单方便易于实现。
本发明授权一种用于硅晶圆的减薄装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种用于硅晶圆的减薄装置，其特征在于，包括：磨牙加载架，所述磨牙加载架呈长杆状，并用于围绕垂直穿过硅晶圆的圆心的旋转轴进行旋转，设置在所述磨牙加载架的下壁面上的磨牙，其中，所述磨牙加载架构造为沿着硅晶圆的直径方向远离或者靠近所述旋转轴以调节位置，所述磨牙加载架至少为三个，并在周向上均匀阵列分布，各所述磨牙加载架的内端与周向上相邻的上一个所述磨牙加载架滑动式连接，所有所述磨牙加载架的内端段连接成N边形，其中N与所述磨牙加载架的数量相等，在各所述磨牙加载架的侧壁上设置有沿着自身轴向延伸的第一滑道，并且周向上相邻的下一个所述磨牙加载架的内端头插入到所述第一滑道内以形成滑动式连接，在各所述磨牙加载架的内端头与相配合的一个所述磨牙加载架之间设置有用于限定所述磨牙加载架的内端头位置的锁紧组件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人万华化学集团股份有限公司，其通讯地址为：264006 山东省烟台市经济技术开发区重庆大街59号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号