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龙图腾网恭喜山东大学申请的专利高分辨率位移测量装置及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115325943B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210994259.7，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权高分辨率位移测量装置及测量方法是由刘维新;武中臣;贺鹏志;王晴;仲亦凡设计研发完成，并于2022-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本高分辨率位移测量装置及测量方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种高分辨率位移测量装置和测量方法。在楔形玻璃片移动过程中，通过高频光电探测器测量激光双纵模的频率变化；通过分光棱镜对双纵模进行分光处理，通过光电探测器一和光电探测器二分别测量光束一和光束二的光强，基于光强变化的正负值，以及频率变化值，计算与楔形玻璃片相连的运动目标位移。该装置和方法将激光振荡纵模的频差与目标的位移关联起来，可充分利用频率测量的高精度和高分辨率，使得位移测量达到亚纳米的高分辨率，有利于应用到微位移测量领域。

本发明授权高分辨率位移测量装置及测量方法在权利要求书中公布了：1.高分辨率位移测量方法，其特征在于，所述测量方法基于高分辨率位移测量装置实现，所述测量装置包括：激光增益管：其第一端设置有固定反射镜，第二端设置有增透窗片；独立反射镜：设置在增益管第二端侧，位于增透窗片的外侧，与激光增益管和固定反射镜组合发射双纵模振荡激光；楔形玻璃片：设置在独立反射镜与增透窗片之间，其位于光路上的两表面中一个表面与激光轴线垂直，另一表面与激光轴线倾斜；分光镜：设置在固定反射镜的外侧；偏振片：设置在分光镜的反射光路一侧；高频光电探测器：设置在偏振片的光线输出端，用于接收两纵模的拍频信号；频率计：接入高频光电探测器输出的电信号，以测量两纵模的频差；分光棱镜：设置在分光镜的透射光路一侧，用于将两纵模按正交偏振态分为光束一和光束二；光电探测器：包括第一光电探测器和第二光电探测器，分别设置在光束一的传播光路上，以及，光束二的传播光路上，探测两纵模的光强；所述测量方法包括以下步骤：采用双纵模激光器作为光源；移动楔形玻璃片，测量激光输出两纵模的频差，记录两纵模频差的最小值Δmin和最大值Δmax，作为极值点记录；测量激光输出双纵模光强I和I⊥的光强差的正负值：s＝signI⊥-I；测量过程中，被测目标物和与之相连的楔形玻璃片同步位移；记录位移开始时两纵模激光的频差值为Δv0，位移结束后两纵模激光的频差为Δv；并且位移过程中两纵模激光频差值第一次达到极值点时为Δv1，位移结束前两纵模激光频差值最后一次经过极值点时为Δv2，位移过程中两纵模激光频差值经过极值点的总次数为m，实时记录两纵模激光的光强I和I⊥；基于双纵模振荡激光的频差和光强差的正负，计算被测目标物单次位移的小数部分Δl： 其中λ为激光波长；若位移过程中两纵模的频差值没有达到极值点，则Δv1＝Δv2＝0，目标物的位移即为ΔL＝Δl；若位移过程中两纵模的频差值达到极值点，则根据Δl的正负号判断位移方向，计算包含整数部分的目标物位移为: 其中，m为一整数。

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