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龙图腾网恭喜浙江大学申请的专利基于级联双环谐振腔游标效应的光学加速度计芯片获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115128301B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210522287.9，技术领域涉及：G01P15/08；该发明授权基于级联双环谐振腔游标效应的光学加速度计芯片是由佘玄;刘亚康;孙培基;毕然;陈侃;舒晓武设计研发完成，并于2022-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于级联双环谐振腔游标效应的光学加速度计芯片在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于级联双环谐振腔游标效应的光学加速度计芯片。包括宽谱光源、模斑转换器、光隔离器、敏感单元、上电极、下电极、F‑P腔、第一Y波导、第二Y波导、2:1型Y波导、第一光功率计、第二光功率计、解调反馈电路、铌酸锂单晶薄膜层、二氧化硅氧化层、硅衬底、封装外壳。本发明具有两个独立的光学谐振腔：施加x向加速度，第一环形波导与椭圆盘间距改变，造成谐振波长的偏移，可以同时获得加速度的大小与方向；两个谐振腔的半径有微小差异，利用光学谐振腔输出光干涉产生的游标效应可以放大第一环形波导谐振波长的频移信号。本发明体积小、精度高、制造工艺简单，抗电磁干扰，有较高的可靠性。

本发明授权基于级联双环谐振腔游标效应的光学加速度计芯片在权利要求书中公布了：1.一种基于级联双环谐振腔游标效应的光学加速度计芯片，其特征在于，硅衬底、二氧化硅氧化层和铌酸锂单晶薄膜层从下至上依次层叠布置，二氧化硅氧化层和铌酸锂单晶薄膜层共同刻蚀形成敏感单元；所述敏感单元包括蛇形悬臂梁、质量块、第一环形波导、第二环形波导、第一直波导和微椭圆盘；铌酸锂单晶薄膜层的上表面通过刻蚀形成第一直波导，第一直波导的一端与光隔离器相连，第一直波导的另一端与F-P腔相连，第一直波导一侧的二氧化硅氧化层和铌酸锂单晶薄膜层共同刻蚀形成蛇形悬臂梁和质量块，质量块的两侧分别与对应的蛇形悬臂梁相连，蛇形悬臂梁用于支撑质量块，质量块与蛇形悬臂梁的底部悬空，质量块与第一直波导之间间隔布置，质量块中部的铌酸锂单晶薄膜层上表面刻蚀形成第一环形波导，第一环形波导的内圈设置有微椭圆盘，微椭圆盘与质量块之间的二氧化硅氧化层和铌酸锂单晶薄膜层均被腐蚀掉，使得微椭圆盘与质量块之间间隔布置，微椭圆盘的底部不悬空；第一环形波导、第二环形波导和微椭圆盘的圆心在一条直线上并且微椭圆盘的长轴在该条直线上；第一直波导一侧靠近下电极一端的铌酸锂单晶薄膜层的上表面通过刻蚀形成第二环形波导，第二环形波导与第一直波导之间间隔布置，第二环形波导与最靠近下电极一端的蛇形悬臂梁间隔布置；所述微椭圆盘的圆心与第一环形波导的圆心之间距离150-220nm。

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