恭喜阿德特克等离子技术公司高原敏浩获国家专利权
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龙图腾网恭喜阿德特克等离子技术公司申请的专利高频电源获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115083878B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111329951.X，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权高频电源是由高原敏浩;岸良贵通;田中克典设计研发完成，并于2021-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本高频电源在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够由用户任意地设定所输出的高频电力的电力值的随时间推移而变化的图案的高频电源。本发明所涉及的高频电源10A具备：输出部20，经由阻抗匹配器30向负载40输出高频电力；数据存储部13A，存储由用户生成的指令数据；以及控制部12A，基于在数据存储部13A中存储的指令数据来控制输出部20以及阻抗匹配器30。构成指令数据的多个记录分别包含与应该输出的高频电力的电力值相关的电力指令数据、和与阻抗匹配器30的动作的有无相关的匹配动作指令数据，控制部基于电力指令数据而生成的电力信号发送至输出部，并且将基于匹配动作指令数据而生成的同步信号发送至阻抗匹配器。
本发明授权高频电源在权利要求书中公布了：1.一种高频电源，经由常数被变更的阻抗匹配器向负载输出高频电力，所述高频电源的特征在于，具备：输出部，输出所述高频电力；数据存储部，存储由用户生成的指令数据；以及控制部，基于在所述数据存储部中存储的所述指令数据来控制所述输出部及所述阻抗匹配器，所述指令数据由与沿时间排列的多个控制单位期间对应的多个记录构成，所述多个记录分别包含与应该输出的所述高频电力的电力值相关的电力指令数据、和与所述阻抗匹配器的动作的有无相关的匹配动作指令数据，所述控制部将基于所述多个记录的所述电力指令数据而生成的电力信号发送至所述输出部，并且将基于所述多个记录的所述匹配动作指令数据而生成的同步信号发送至所述阻抗匹配器。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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