恭喜应用材料公司诺兰·L·齐默尔曼获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利多隔室电化学补给池获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114481270B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111240100.8,技术领域涉及:C25D17/02;该发明授权多隔室电化学补给池是由诺兰·L·齐默尔曼;查尔斯·沙尔博诺;格雷戈里·J·威尔逊;保罗·R·麦克休;保罗·王·瓦肯布格;迪帕克·萨加尔·卡莱卡达尔;凯尔·M·汉森设计研发完成,并于2021-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本多隔室电化学补给池在说明书摘要公布了:电镀系统可包括电镀腔室。这些系统也可包括与所述电镀腔室流体耦接的补给组件。所述补给组件可包括容纳阳极材料的第一隔室。所述第一隔室可包括在其中容纳有所述阳极材料的第一隔室区段和通过间隔物与所述第一隔室区段分离的第二隔室区段。所述补给组件可包括与所述电镀腔室流体耦接且与所述第一隔室电耦接的第二隔室。所述补给组件也可包括与所述第二隔室电耦接的第三隔室,所述第三隔室包括惰性阴极。
本发明授权多隔室电化学补给池在权利要求书中公布了:1.一种电镀系统,包括:电镀腔室,所述电镀腔室包括电镀容器;和与所述电镀腔室流体耦接的补给组件,所述补给组件包括:容纳阳极材料的第一隔室,所述第一隔室具有第一隔室区段和第二隔室区段,在所述第一隔室区段中容纳有所述阳极材料,并且所述第二隔室区段通过间隔物与所述第一隔室区段分离,其中所述第一隔室包括阳极电解液,第二隔室,所述第二隔室与所述电镀腔室流体耦接且与所述第一隔室电耦接,其中所述第二隔室包括阴极电解液,和与所述第二隔室电耦接的第三隔室,所述第三隔室包括惰性阴极。
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