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龙图腾网恭喜中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种90°光混频器及制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115166991B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110359487.2，技术领域涉及：G02B27/28；该发明授权一种90°光混频器及制作方法是由佘小娟;廖涵;赵瑛璇;仇超;甘甫烷设计研发完成，并于2021-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种90°光混频器及制作方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种90°光混频器及制作方法，该90°光混频器包括Si3N4MMI耦合器，该Si3N4MMI耦合器使用氮化硅作为波导的芯层材料，二氧化硅作为波导的包层材料，基于氮化硅材料制成的Si3N4MMI耦合器制作工艺简单，与集成器件、CMOS工艺兼容。该Si3N4MMI耦合器的四个输出波导输出的光功率保持一致，且四个输出波导输出光束的相位误差在‑5°～5°范围内，四个输出波导的总透射率大于0.9时，对应的带宽为68nm，覆盖了波长范围在1530nm‑1565nm之间的C波段，具有较高的实用价值。

本发明授权一种90°光混频器及制作方法在权利要求书中公布了：1.一种90°光混频器，其特征在于，所述90°光混频器包括Si3N4MMI耦合器，所述Si3N4MMI耦合器包括：硅衬底；二氧化硅下包层，形成于所述硅衬底上；氮化硅波导，形成于所述二氧化硅下包层上；二氧化硅上包层，覆盖所述氮化硅波导及二氧化硅下包层；其中，所述氮化硅波导的折射率在1.9～2.1范围内；其中，所述氮化硅波导包括依次连接的输入波导、多模波导及输出波导，所述输入波导包括第一输入波导、第二输入波导、第三输入波导及第四输入波导，所述输出波导包括第一输出波导、第二输出波导、第三输出波导及第四输出波导，通过所述第一输入波导输入TE偏振状态的信号光，通过所述第二输入波导输入TE偏振状态的本地偏振光，通过所述第三输入波导输入TM偏振状态的信号光，通过所述第四输入波导输入TM偏振状态的本地偏振光，且所述信号光及本地偏振光通过所述多模波导形成具有同功率、不同相位的光束，且所述光束通过所述输出波导输出的相对相位差分别为0°、90°、180°及270°；其中，利用光的自映像原理，设置所述多模波导的折射率、宽度和厚度参数，以将所述信号光及本地偏振光进行混合并解调为同功率、不同相位的光束；所述多模波导为矩形波导；其中，在所述输出波导的总透射率大于0.9时所对应的带宽为68nm，覆盖了1530nm～1565nm范围；且在1530nm～1565nm波段范围内，经所述输出波导输出的所述光束的相位误差的范围为-5°～5°。

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