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龙图腾网恭喜中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油工程技术研究院;中国电子科技集团公司第十三研究所申请的专利具有低噪声的微机械检测结构及设计方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114910665B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110177420.7，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权具有低噪声的微机械检测结构及设计方法是由丁士东;张卫;郑奕挺;胡越发;宗艳波;张志勇;盛百城;王宁设计研发完成，并于2021-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有低噪声的微机械检测结构及设计方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种具有低噪声的微机械检测结构设计方法，其包含：步骤一：分别确定影响微机械检测结构的机械布朗噪声以及灵敏度的影响参数；步骤二：以减少机械布朗噪声，保证灵敏度不变或增加为原则，从所述影响参数中选择需要进行改变的改变参数以及针对所述改变参数的改变策略；步骤三：考虑不同加工工艺的影响，在进行微机械检测结构加工时依据所述改变策略进行加工工艺改进。本发明能够在常压下进行圆片封装，避免了真空封装的复杂性和高成本，提高了器件的可靠性。此外，能够在保证灵敏度等重要指标不变的前提下，大幅降低加速度计的机械布朗噪声，提升传感器的整体性能。

本发明授权具有低噪声的微机械检测结构及设计方法在权利要求书中公布了：1.一种具有低噪声的微机械检测结构设计方法，其特征在于，所述方法包含以下步骤：步骤一：分别确定影响微机械检测结构的机械布朗噪声以及灵敏度的影响参数，其中，微机械检测结构采用跷跷板结构形式；步骤二：以减少机械布朗噪声，保证灵敏度不变或增加为原则，从所述影响参数中选择需要进行改变的改变参数以及针对所述改变参数的改变策略；步骤三：考虑不同加工工艺的影响，在进行微机械检测结构加工时依据所述改变策略进行加工工艺改进；所述步骤一中具体包含以下步骤：依据微机械检测结构的机械布朗噪声计算表达式，确定阻尼系数、敏感结构质量以及敏感结构质心距离转轴位置作为影响机械布朗噪声的影响参数；依据微机械检测结构的灵敏度计算表达式，确定所述敏感结构质心距离转轴位置作为影响灵敏度的影响参数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油工程技术研究院;中国电子科技集团公司第十三研究所，其通讯地址为：100728 北京市朝阳区朝阳门北大街22号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。