买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置及衬底处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113205990B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110119190.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权衬底处理装置及衬底处理系统是由墨周武设计研发完成，并于2021-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本衬底处理装置及衬底处理系统在说明书摘要公布了：本申请案涉及一种衬底处理装置及衬底处理系统。在处理容器内处理衬底的衬底处理装置中，防止因部件滑擦引起的扬尘污染衬底，且将盖部确实地锁定在容器主体。因此，衬底处理系统1具备：处理容器主体12；盖部13，可堵塞处理容器主体的开口；移动部14，使盖部相对于处理容器主体相对移动，而将开口打开及关闭；以及锁定机构16，将盖部锁定在处理容器主体。锁定机构具有：臂部161，在处理容器主体及盖部中的一侧向另一侧延设，且当盖部位于从处理容器主体离开的离开位置时，超出与处理容器主体的间隙空间延伸至另一侧；以及卡止部162，与臂部中当盖部位于离开位置时位于超出间隙空间的位置的部位卡合，限制臂部的位移。

本发明授权衬底处理装置及衬底处理系统在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备：处理容器主体，具有内部空间及开口，所述内部空间可收容衬底，所述开口与所述内部空间连通，用来使所述衬底通过；盖部，可堵塞所述开口；移动部，使所述盖部相对于所述开口相对移动，利用所述盖部将所述开口打开及关闭；以及锁定机构，将所述盖部锁定在所述处理容器主体；且所述移动部使所述盖部相对于所述处理容器主体的相对位置在堵塞位置与离开位置之间变化，此处，所述堵塞位置是所述盖部接近所述处理容器主体而堵塞所述开口的位置，所述离开位置是所述盖部相对于所述开口朝与所述内部空间相反的方向、且在与所述开口之间隔开用来使向所述内部空间搬送的所述衬底通过的间隙空间而离开的位置，所述锁定机构具有：臂部，在所述处理容器主体及所述盖部中的一方，向另一方延伸而设置；以及卡止部，当所述盖部位于所述堵塞位置时与所述臂部卡合，限制所述臂部的位移；且所述臂部安装于所述盖部，所述移动部使所述盖部与所述臂部一体移动，所述开口设置在所述处理容器主体的侧面，所述盖部相对于所述处理容器主体的相对移动方向为水平方向，所述衬底以水平姿势搬入所述内部空间中，所述臂部在所述盖部位于所述离开位置时，前端超过所述间隙空间而延伸至所述另一方，供所述卡止部卡合的所述臂部的部位是所述臂部中当所述盖部位于所述离开位置时位于超过所述间隙空间的位置的部位。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。