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龙图腾网恭喜三星SDI株式会社申请的专利抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113138532B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110056902.7，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法是由崔有廷;权纯亨;朴贤;白载烈;金旼秀;裵信孝;宋大锡;安度源设计研发完成，并于2021-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种抗蚀剂底层组合物，包含：A包含由化学式1表示的结构单元、由化学式2表示的化合物或其组合的聚合物；B包含其中由化学式3或化学式4表示的部分中的至少一个和由化学式7表示的部分彼此键结的结构的聚合物；以及C溶剂；且还公开一种使用抗蚀剂底层组合物形成图案的方法，化学式1到化学式4和化学式7的定义如说明书中所描述。

本发明授权抗蚀剂底层组合物和使用所述组合物形成图案的方法在权利要求书中公布了：1.一种抗蚀剂底层组合物，包括：A包含由化学式1表示的结构单元、由化学式2表示的化合物或其组合的聚合物；B包含其中由化学式3或化学式4表示的部分中的至少一个和由化学式7表示的部分彼此键结的结构的聚合物；以及C溶剂：[化学式1] 其中，在化学式1中，R1和R2独立地为羟基、经取代或未经取代的C1到C20烷氧基、卤素、经取代或未经取代的C1到C20烷基、经取代或未经取代的C2到C30烯基、经取代或未经取代的C2到C20炔基、经取代或未经取代的C6到C30芳基、经取代或未经取代的C6到C30杂芳基或其组合，L1和L2独立地为单键、经取代或未经取代的C1到C20亚烷基、经取代或未经取代的C3到C20亚环烷基、经取代或未经取代的C6到C30亚芳基、经取代或未经取代的C1到C20亚杂烷基、经取代或未经取代的C2到C20亚杂环烷基、经取代或未经取代的C2到C30亚杂芳基或其组合，且*为键联点；[化学式2] 其中，在化学式2中，R3到R6独立地为羟基、硫醇基、氰基、经取代或未经取代的氨基、卤素原子、经取代或未经取代的C1到C30烷基、经取代或未经取代的C1到C30烷氧基、经取代或未经取代的C6到C30芳基或其组合，且L3为单键、经取代或未经取代的C1到C30亚烷基、经取代或未经取代的C6到C30亚芳基或其组合；[化学式3] [化学式4] 其中，在化学式3和化学式4中，Ra和Rb独立地为氢、氘、经取代或未经取代的C1到C10烷基、经取代或未经取代的C2到C20烯基、经取代或未经取代的C2到C20炔基、经取代或未经取代的C3到C20环烷基、经取代或未经取代的C6到C20芳基、经取代或未经取代的C1到C10杂烷基、经取代或未经取代的C2到C20杂烯基、经取代或未经取代的C3到C20杂环烷基、或经取代或未经取代的C6到C20杂芳基或其组合，Rc为以下各项：末端基团，为经取代或未经取代的C1到C10烷基、经取代或未经取代的C2到C20烯基、经取代或未经取代的C2到C20炔基、经取代或未经取代的C3到C20环烷基、经取代或未经取代的C1到C10杂烷基、经取代或未经取代的C2到C20杂烯基、经取代或未经取代的C3到C20杂环烷基或其组合；由键联到所述末端基团的化学式5或化学式6表示的结构单元；或由其组合表示的基团，且化学式3或化学式4在每一个*位置处键联到由化学式7中的*所指示的点；[化学式5] [化学式6] 其中，在化学式5和化学式6中，L3和L4独立地为经取代或未经取代的C1到C20亚烷基、经取代或未经取代的C1到C20亚杂烷基或其组合，Ra和Rb独立地与化学式3和化学式4中定义的相同，且*为键联点；[化学式7] 其中，在化学式7中，A为单键、经取代或未经取代的C1到C10亚烷基、-C＝O-、-COO-、-OCOO-或其组合，X为单键、-O-、-S-、-S＝O-、-S＝O2-、-C＝O-、-COO-、-OCOO-、-NR-或其组合，其中R为氢、氘或C1到C10烷基，Rd为氢、氘、卤素、羟基、氰基、硝基、氨基、环氧基、甲基丙烯酸酯基、氧杂环丁烷基、硫醇基、羧基、经取代或未经取代的C1到C30烷基、经取代或未经取代的C2到C30烯基、经取代或未经取代的C2到C30炔基、经取代或未经取代的C1到C10烷氧基、经取代或未经取代的C3到C10环烷基、经取代或未经取代的C6到C30芳基、经取代或未经取代的C6到C30芳氧基或其组合，Re为氢、氘以及C1到C10烷基中的一个，n1为1到10,000，且*键联到化学式3或化学式4，或键联到氢、氘、卤素、羟基、氰基、硝基、氨基、环氧基、甲基丙烯酸酯基、氧杂环丁烷基、硫醇基、羧基、经取代或未经取代的C1到C30烷基、经取代或未经取代的C2到C30烯基、经取代或未经取代的C2到C30炔基、经取代或未经取代的C1到C10烷氧基、经取代或未经取代的C3到C10环烷基、经取代或未经取代的C6到C30芳基、经取代或未经取代的C6到C30芳氧基或其组合，前提是化学式3或化学式4中的至少一个键联到化学式7中的*。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三星SDI株式会社，其通讯地址为：韩国京畿道龙仁市器兴区贡税路150-20号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。