恭喜三井化学株式会社石川彰获国家专利权
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龙图腾网恭喜三井化学株式会社申请的专利防护膜组件的拆卸方法及防护膜组件的拆卸装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114641724B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080076341.0，技术领域涉及：G03F1/62；该发明授权防护膜组件的拆卸方法及防护膜组件的拆卸装置是由石川彰;高村一夫设计研发完成，并于2020-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本防护膜组件的拆卸方法及防护膜组件的拆卸装置在说明书摘要公布了：本发明的目的在于提供光掩模的污染的抑制性优异的防护膜组件的拆卸方法。提供一种防护膜组件的拆卸方法，其包括下述工序：准备层叠体的工序，所述层叠体按下述顺序的配置具备光掩模805、防护膜组件框803以及防护膜802；准备电极810的工序；以及拆卸工序，将层叠体和电极810以使层叠体中的防护膜802与电极810对置的方式进行配置，并且通过对于电极810施加电压，从而产生静电引力，通过所产生的静电引力将防护膜802向电极810的方向吸引，从而从层叠体中的光掩模805拆卸防护膜802。
本发明授权防护膜组件的拆卸方法及防护膜组件的拆卸装置在权利要求书中公布了：1.一种防护膜组件的拆卸方法，其包括下述工序：准备层叠体的工序，所述层叠体按下述顺序的配置具备光掩模、防护膜组件框以及防护膜；准备电极的工序；以及拆卸工序，通过将所述层叠体和所述电极以使所述层叠体中的所述防护膜与所述电极对置的方式进行配置，并且对于所述电极施加电压，从而产生静电引力，通过所产生的所述静电引力将所述防护膜向所述电极的方向吸引，从而从所述层叠体中的所述光掩模上拆卸所述防护膜。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三井化学株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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