恭喜东京毅力科创株式会社波多野达夫获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板输送装置和基板处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114731104B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080080938.2，技术领域涉及：H02K41/03；该发明授权基板输送装置和基板处理系统是由波多野达夫;宫下哲也;渡边直树;铃木直行设计研发完成，并于2020-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板输送装置和基板处理系统在说明书摘要公布了：提供一种输送基板的基板输送装置。基板输送装置包括：第1平面马达，其设于第1室，并具有排列着的线圈；第2平面马达，其设于与所述第1室连接的第2室，并具有排列着的线圈；一对输送单元，其在所述第1平面马达和或所述第2平面马达上移动，并能够输送基板；以及控制部，其控制所述第1平面马达和所述第2平面马达的线圈的通电。
本发明授权基板输送装置和基板处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基板输送装置，其中，该基板输送装置包括：第1平面马达，其设于第1室，并具有排列着的线圈；第2平面马达，其设于与所述第1室连接的第2室，并具有排列着的线圈；一对输送单元，其在所述第1平面马达和或所述第2平面马达上移动，并能够输送基板，其中所述一对输送单元用于共同支承单个基板；以及控制部，其控制所述第1平面马达和所述第2平面马达的线圈的通电，其中，所述控制部在维持着所述一对输送单元的相对的位置关系的状态下使所述一对输送单元移动从而输送所述单个基板，其中，所述第1室和所述第2室借助闸阀连接，所述闸阀成为未配置所述线圈的区域，在所述一对输送单元从所述第1室向着所述第2室跨越所述闸阀时，所述控制部以增大所述闸阀侧的排斥力的方式控制所述第1平面马达所产生的磁场。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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